판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum #293671945

AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum
ID: 293671945
웨이퍼 크기: 8"
Implanter, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum은 반도체의 성능을 높이기 위해 사용되는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 그것 은 "이온 '을" 마이크로일렉트로닉스' 공업 의 반도체 부품 제조 에 사용 되는 물질 에 정확 하게 전달 하도록 설계 되었다. AMAT Quantum에는 여러 이온 소스, 매우 정교한 소프트웨어 패키지, 고정밀 광학 및 자기 센서가 잘 장착되어 있습니다. 최대 300mm (12 ") 크기의 기판을 수용 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Quantum에는 선형 가속기가 포함되어 있으며, 이 가속기는 고에너지 단방향 빔을 사용하여 이온을 표적에 전달합니다. 또한 고급 이온 소스 (ion source) 기술을 제공하며, 고객의 요구에 따라 다양한 유형의 이온 소스를 선택할 수 있습니다. 이온 소스에는 전자 사이클로트론 공명 (ECR), 이온 이식 및 집중 이온 빔 (FIB) 이 포함됩니다. ECR 및 이온 이식 (ion implantation) 은 금속 및 기타 도체의 제조에 적합하며, FIB 시스템은 매우 작은 영역에 이온을 퇴적시키는 데 사용될 수있다. 양자 (Quantum) 는 또한 고급 소프트웨어 패키지를 특징으로하며, 이온 빔을 정확하게 제어하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 이온 이식, 이온 증착 또는 표면 오염 모니터링과 같은 프로세스에 사용할 수 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하여 임플란테이션 결과에 대한 자세한 보고서 및 분석을 작성할 수도 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum은 또한 고정밀 광학 및 자기 센서를 제공합니다. 이러 한 "센서 '는" 이온' 광선 의 위치 와 "시스템 '의 다른 요소 들 을 탐지 하고 제어 하는 데 사용 된다. 센서는 임플란트 각도, 용량 및 스팟 크기를 측정하는 데 사용됩니다. 요약하면, AMAT Quantum은 이온 이식 및 모니터링을위한 다양한 고급 기술과 소프트웨어를 제공합니다. 반도체 기판에 이온을 정확하게 전달하도록 설계되었으며, 임플란트 각도 (Implant Angle), 용량 (Dose) 및 스팟 크기 (Spot Size) 와 같은 변수를 측정 및 제어하기위한 고정밀 센서를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Quantum은 모든 반도체 제작 라인의 필수 구성 요소입니다.
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