판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9379893

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 통합 이온 임플랜터이며, 처리 재료를 보다 효율적으로 제어할 수 있도록 설계된 모니터입니다. AMAT Quantum X Plus는 고정밀도, 고해상도 빔 제어를 통해 고효율로 설계되었으며, 보다 정밀한 용량의 교정, 보다 나은 임플란트 균일성을 제공합니다. 이 장비는 새로운 64 비트 프로세서로 구동되며, 처리 능력과 강력한 데이터 분석을 가능하게 합니다. APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 빔 안정성을 향상시키고 최소한의 오염으로 플라즈마 균일성을 허용하도록 설계된 멀티 채널 E-gun을 특징으로합니다. 그것 은 "웨이퍼 '의 표면 으로부터" 이온' 종 의 일정한 "에너지 '역산포 를 제공 하기 위하여 만들어졌으며, 그 로 인해 각 입자 종 의 용량 을 정확 히 정할 수 있게 되었다. Quantum X Plus에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있어 임플란트 프로파일을 쉽게 설정하고 실행할 수 있습니다. 이 시스템에는 멀티 스레드 이온 빔 모니터 (multi-threaded ion-beam monitor) 가 포함되어 있어 실시간 빔 제어 및 임플란트 모니터링이 가능합니다. 추가 처리 또는 분석을 위해 임플란트의 데이터를 다른 시스템으로 쉽게 익스포트 할 수 있습니다. 단위는 프로세스 검증을 위해 입자 분석을 제공 할 수도 있습니다. 이를 통해 이식 전에 웨이퍼의 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, 고정밀 빔 스토퍼 (high-precision beam stopper) 를 사용하여 입자가 목표 영역 바깥으로 나가는 것을 막을 수도 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 다중 단계 소스 자석을 특징으로보다 균일 한 임플란트 분포를 제공합니다. 이 기계에는 또한 멀티 존 엔드 스테이션 (multi-zone endstation) 이 포함되어 있으며, 이는 더 나은 플라즈마 균일성을 제공하고 입자 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. 엔드 스테이션에는 개선 된 가스 전달 도구가 있으며, 빔 안정성과 균일성이 향상되었습니다. 또한 AMAT Quantum X Plus는 안전 연결 자산 (Safety Interlock Asset) 과 능동적 인 안전 모니터링 모델을 통해 안전하고 안정적으로 설계되었습니다. 이 장비에는 각 사이클마다 고품질 임플란트를 보장하기 위해 지능형 온도 조절 시스템 (Intelligent Temperature Control System) 이 장착되어 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 고효율 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 프로세스 검증을위한 입자 분석뿐만 아니라, 뛰어난 빔 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 각 프로세스 사이클 (process cycle) 에서 안정적인 임플란트를 보장하기 위해 여러 안전 시스템 (safety system) 을 사용하여 안전하고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다.