판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9248922
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ID: 9248922
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 2007
High current ion implanter, 8"-12"
FI + Load ports
Quantum III beam line
Beam line module
Beam line rack
Processor rack
Processor module
Ion source module
Computer table
Accessories
Mains matching transformer
ISO TX
Roof panels
Enclosure ends panels
Doors
Ground plane rack
Ground plane ISO TX to rear of processor
Quantum X plus safety guards
Cryo lift rail long
Goal post
Enclosure rails
Earthing lances
Earthing blade assy
Earthing blade shaft / Handle
Beamline doors enclosure
Beamline door struts
Beamline extraction
Beamline ground plane
Cryo lift rail
Roof extraction
Lights and diffusers
Monitors
Enclosure doors
Compressor
Heat exchanger
Turbo pump
Cryo Pump with cage
2D Isocentric scanning system
With high tilt up to 60°
Frequency: 50 / 60 Hz
Full load current: 125 A
Overcurrent protection: 150 A
Chillers
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter & Monitor는 대용량 생산에서 효율적이고 정확한 이온 이식 이식 프로세스를 위해 설계된 고급 도구입니다. AMAT Quantum X Plus는 첨단 기능과 디자인으로 기존 이온 임플랜터를 개선하는 아트 이온 임플랜터 (Art ion implanter) 의 상태입니다. APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter & Monitor는 뛰어난 빔 셰이핑 기술로 설계되어 있어 이온을 웨이퍼에 이식할 때 더욱 정밀합니다. 또한 이식 범위를 늘리는 독특한 Neutral Beam Distersion 장비가 특징입니다. 또한, 테이퍼 효과 및 불균일 임플란테이션을 최소화하는 통합 된 High Tolerance Active Neutral Beam-shaping 시스템이 있습니다. 또한 Quantum X Plus 는 다양한 이식 프로세스에 대해 빠른 속도와 정확성을 제공하도록 설계되었으며, 이는 사용 가능한 다른 시스템에 비해 뛰어난 성능을 제공합니다. 이식 용량 비율은 4 ~ 7 dpa/min, 높은 처리량 임플란테이션을위한 우수한 해상도 기능, 최대 1000 ~ 5000 Hz의 스캔 속도를 제공 할 수있는 높은 용량 비율을 가지고 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter & Monitor에는 운영자에 대한 피드백을 제공하고 환경 조건을 모니터링하는 다양한 센서가 있습니다. 또한 AMAT Quantum X Plus는 방사선 방지, 결함 진단, 사고 방지 등의 강력한 안전 장치를 갖추고 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter & Monitor는 하이엔드 소프트웨어 패키지로 설계되어 운영자에게 이온 임플란테이션 프로세스를 정확하게 제어하여 운영자 상호 작용이 최소화되어 자동화된 프로세스를 제공합니다. 결론적으로 Quantum X Plus Ion Implanter & Monitor는 대량의 웨이퍼 생산에서 이온 이식 프로세스의 정확성과 효율성을 향상시키기 위해 기술 적으로 향상된 기계입니다. 이 도구는 고속 구현 프로세스, 정밀 빔 형성, 이식 면적 증가, 강력한 안전 시스템을 제공합니다. 고도로 정교한 이 자산은 정확성과 신뢰성을 필요로 하는 어플리케이션의 탁월한 결과를 달성하기 위한 이상적인 솔루션을 제공합니다 (영문).
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