판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9228096

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 고정밀 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 오늘날 반도체 응용프로그램의 엄격한 요구를 충족시키기 위해 설계된 고성능 시스템입니다. 고급 장치 처리 및 제어를 위한 정확한 임플란트 (implant) 및 정확한 입자 빔 (particle beam) 모니터링 기능을 제공할 수 있습니다. AMAT Quantum X Plus는 강력하고 효율적인 챔버 및 빔라인 제어를 갖춘 고급 멀티 빔 임플랜터 및 모니터입니다. 이 장치에는 소형 1 차 이온 소스 디자인의 3 축 빔 샤프트 (3 축 빔 샤프트) 와 대형 기판의 빠른 처리가 가능한 대형 챔버 인테리어 (chamber interior) 가 장착되어 있습니다. 고급 장치 처리 및 제어를 위한 정확한 임플란트 (implant) 및 입자 빔 (particle beam) 모니터링 기능을 제공할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Quantum X Plus의 주요 기능에는 빔 트랩 (beam trap) 및 저전력 고밀도 임플란트가 필요하지 않은 저방출 1 차 이온 소스 디자인이 포함됩니다. 또한 고급 빔 튜닝 머신 (advanced beam tuning machine) 을 갖추고 있어 고수율 임플란트를 제공하기 위해 빔 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 Quantum X Plus에는 정확한 샷-투-샷 제어를 위한 통합 빔 전류, 위치 및 온도 감지 기능이 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 또한 기판 침식과 입자가 임플란트 표면에 도달하지 못하도록 진공 타이트하고 차폐 된 인클로저를 사용합니다. 엔드 플레이트 (endplate) 및 임플란트 챔버 (implant chamber) 는 매우 정밀하고 균일 한 임플란트를 제공하도록 설계되었으며, 분리기는 오염 물질을 줄이고 매우 낮은 방출 임플란트를 제공 할 수있다. 또한, Proteus Series Ion Booster를 통해 AMAT Quantum X Plus는 최대 240keV의 이식 에너지에 도달 할 수 있으며, 고정밀도 및 균일 한 이온 임플란트를 보장합니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS Quantum X Plus에는 실시간 장치 특성 및 분석을위한 강력한 데이터 획득 및 분석 도구가 있습니다. 이 자산은 또한 ARC 소프트웨어 제품군을 통해 향상된 추적 기능 및 제어 기능을 제공하여 사용자에게 모든 임플란트 (implant) 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한, 광범위한 툴과 액세서리를 통해 Quantum X Plus는 고급 장치 특성 및 저렴한 제조에 이상적인 모델입니다.