판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9220637

AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus
ID: 9220637
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
High current implanter, 12" Energy option: LEAP Ultra low (0.2-80 keV) APPLIED Door openers Stand alone Signal tower: Front and back of tool Processor: ISPM Processor Isocentric scanner Ultralife QX+ ion source G1 Electrode: Graphite Gas panel box: Argon system and gas purge TEM LEYBOLD Turbo pump (3) Cryo pumps SPECTRA Residual Gas Analyzer (RGA) MMTX Transformer Gas panel: 8-Position: AsH3, PH3, GeF4, BF3, SiF4, CO2, 2-Blank Wafer loader: (4) Stations SEMI standard wafer loader Hermos tag reader SEMI E84 OHT PIO Kit Low backside particle vacuum end effectors 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 고급 이온 임플랜터이며, 웨이퍼 처리를 위한 강력한 재료 특성화 및 프로세스 제어를 제공하도록 설계된 모니터입니다. AMAT Quantum X Plus는 탁월한 성능과 안정성, 최첨단 기능 및 기능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 붕소, 비소, 인, 탄소 원자 등 거의 모든 유형의 이온을 이식 할 수있는 고성능 이온 임플란터입니다. 정밀도, 정확성 및 반복성의 정확한 수준을 제공하도록 설계되었습니다. 첨단 전자 총 (advanced electron gun) 기술로, 이온 이식 과정을 원자 수준으로 제어하여 최적의 웨이퍼 이식 및 재료 특성을 제공 할 수 있습니다. Quantum X Plus에는 원격 프로세스 모니터링, 손쉬운 운영자 피드백 (feedback) 이 가능한 고급 이온 모니터링 시스템이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 이식 프로세스를 실시간으로 최적화하기 위해 이식 매개변수를 무선으로 조정할 수 있습니다. 이온 전류 응답을 지속적으로 분석하고 빔 매개변수 (beam parameters) 와 측정 (measurement) 을 자동으로 조정하여 프로세스를 최적화합니다. 모니터의 즉각적인 진단 기능을 통해 신속하게 장애 격리 및 수리 작업을 수행할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 다양한 고급 안전 및 환경 기능도 갖추고 있습니다. 다단계 오염 테스터는 이온 오염 수준을 최소한으로 유지하는 반면, 안전 준수 잠금 (Safety Compliance Lockdown) 모드는 무단 사용을 방지합니다. 또한 시스템 안정성 향상을 위해 여러 가지 환경 모니터링 기능 (예: 진동 및 온도 프로브) 을 제공합니다. AMAT Quantum X Plus의 운송 챔버를 사용하면 웨이퍼의 저장 및 운송이 쉽게 이루어집니다. APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 강력하고 신뢰할 수 있는 이온 임플랜터 및 모니터로, 강력한 재료 특성화 및 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 그것 은 "이온 '을 원자 수준 으로 조절 하는 능력 과 결합 하여, 그것 을" 웨이퍼' 처리 에 필수적 인 도구 가 되게 한다.
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