판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9175678
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ID: 9175678
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
High current ion implanter system, 12"
Currently installed
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 고수율 생산 반도체 제조에 대한 엄격한 요구 사항을 처리하도록 설계된 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 최고 수준의 안정성 (Stability), 장비 인텔리전스 (Equipment Intelligence) 및 제어 수준 (Level of Control) 에 따라 생산성이 향상되어 절대적인 최고 신뢰성 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 이 기구 는 근본 "필름 '이나 기판 을 손상 시키지 않고도 정확 히 정밀 하게 집중 된" 이온' 을 정밀 한 형태 의 기판 에 적용 할 수 있다. 따라서 보다 효율적이고 안정적인 디바이스 구성이 가능합니다. AMAT Quantum X Plus는 최대 1.2 백만 암페어의 빔 전류를 가지며 최고의 에너지 처리 요구에 적합합니다. 사용 가능한 빔 스캐닝 (beam scanning) 영역은 다양한 기판에 쉽게 적응하며 빔 스캐닝 시스템은 균일성과 정확성으로 선형 빔 스캐닝을 보장합니다. 이 장치는 또한 실시간 이온 이온 이식 프로세스를 모니터링하는 즉각적인 이미징 머신을 제공합니다. 이 모니터는 또한 임플란트 용량 (Implant dose), 기판 영역 (Substrate Area) 및 필름 무결성 (Film Integrity) 을 그래픽으로 표시하여 사용자가 즉석에서 수정하고 변경할 수 있도록 합니다. 또한 APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 다운타임을 최소화하고 생산성을 높여주는 자동화된 사용 시점 모니터링을 제공합니다. 이 도구는 빠르고 효율적인 리콜을 위해 가장 일반적인 기판의 이미지와 매개변수를 저장합니다. 사용자는 온보드 프로그래밍 가능한 컨트롤러로 임플란트 (implant) 프로세스를 사용자 정의하여 빔 (beam) 및 기판 매개변수를 조정할 수도 있습니다. Quantum X Plus는 뛰어난 제어성, 이온 용량 분포 및 짧은 프로세스 시간을 가지고 있습니다. 따라서 대용량 운영 애플리케이션에서 프로세서 이온 (ion) 임플란테이션과 모니터링을 위한 최적의 선택이 됩니다. 자산의 신뢰성, 정확성은 생산된 부품의 품질에 대한 최대의 자신감을 보장합니다. 고급 기술과 하드웨어와 전문 소프트웨어 솔루션의 결합으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus (AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus) 는 가장 강력하고 안정적인 이온 임플란테이션 및 모니터 워크스테이션 중 하나입니다.
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