판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR #187269

AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500XR (최첨단 이온 임플란터) 및 모니터는 이온 이온 이식 공정의 에너지 범위와 현재 수준을 안정적이고 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 9500XR (The 9500XR) 은 에너지 범위, 전류 수준 및 총 이온 용량에 대한 매우 정확한 제어를 가능하게하며, 반도체 및 기타 관련 산업의 중요한 이식 응용 분야에 대한 최적의 프로세스 제어를 제공합니다. 9500XR은 최대 250keV의 임플란테이션이 가능하며, 광범위한 전류 범위는 최대 50µA, 최대 용량 전달 속도는 1.15 µA/cm2입니다. 온보드 마이크로 프로세서 (Onboard Microprocessor) 는 필라멘트 어셈블리 (Filament Assembly) 및 가스 피드의 빠르고 정확한 위치를 지정하여 정확한 에너지 범위와 전류를 제공 할 수 있습니다. 9500XR은 또한 고급 디지털 신호 처리 (DSP) 를 통합하여 정확성을 보장하고 빔 영역 스캔을 최적화합니다. AMAT의 강력한 BPS (Beam Positioning Equipment) 와 결합하면 AMAT PI 9500XR은 정확하고 제어 가능한 빔 포지셔닝 제어를 제공합니다. BPS는 효과적 빔 속도 (efferent beam speed) 의 가속 및 감속, 스캔 교정 및 간격을 능동적으로 조절하여 빔 성능을 최적화하고 용량 전달률을 달성할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS PI 9500 XR의 디자인은 공간 충전 왜곡 (space charge distortion) 이 최소화되어 고품질, 안정성 및 반복 가능한 이온 빔을 제공합니다. 무한히 조절 가능한 형상을 갖춘 시스템의 독특한 건 디자인 (gun design) 은 빔 스팟 제어 (beam spot control) 및 선명도 (sharpness) 에 대한 뛰어난 제어 기능을 제공합니다. 침식 제어는 조정 할 필요없이 정확한 소스 수리를 허용합니다. 이 장치는 또한 다양한 안전 및 모니터링 기능을 자랑합니다. SiC 센서는 이식 프로세스가 항상 안전한지 확인합니다. 또한, 최소 전압 설정 또는 최대 전류를 초과하면 자동 기계가 공급 장치를 끕니다. 즉, 공구의 변동이 있더라도 안전하고 안정적인 프로세스를 보장하는 데 도움이 됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500 XR은 반도체 및 기타 관련 업계에서 최적의 프로세스 제어를 보장하는 고급, 안정성, 정밀한 이온 임플란터 및 모니터입니다. 다양한 기능과 강력한 빔 포지셔닝 기능을 갖춘 APPLIED MATERIALS PI 9500XR은 안정적이고 효율적인 이식 솔루션을 제공합니다.