판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Extration for xR80 #293671706

AMAT xR80은 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 기계 는 "이온 '을 극도 의 정확도 와 정밀도 로" 실리콘 웨이퍼' 와 같은 기판 에 심도록 설계 되었다. xR80은 xR 시리즈 (xR-Series) 라인업에서 가장 발전된 임플랜터이며, 최적의 프로세스 정확성과 제어를 위해 혁신적인 고에너지 (HP) 및 저에너지 솔루션을 제공합니다. 또한 이온 사태 전류 (ion incident current) 의 고급 소스를 가지고 있으며, 이를 통해 개선 된 임플란트 균일성을 제공 할 수 있습니다. xR80은 스팟 크기, 현재 설정, 유지 시간, 최신 지터 거부 기술, 폐쇄 루프 피드백 제어 등의 정확한 빔 매개변수를 제공합니다. 이것 은 "이온 '이 높은 정확도 와 반복성 으로 기판 에 이식 되도록 한다. 또한 이온 임플란테이션 균일성 (ion implantation uniformity) 및 용량 제어를 극대화하기 위해 독립적 인 사고 전류 빔 소스를 제공합니다. 또한 xR80은 다양한 기판 크기와 온도를 갖춘 강화 된 기판 기능 (substrate capability) 을 갖추고 있으며, 특히 낮은 전류 값에서 작은 반점 크기를 유지하면서 균일성을 향상시키는 고급 오브젝티브 렌즈 (objective lens) 디자인도 갖추고 있습니다. 또한, xR80에는 정밀하고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공하는 자동화된 프로세스 루틴이 장착되어 있습니다. xR80 은 또한 "에러 '의 가능성 을 최소화 하고 기판 이나 분자 의 손상 가능성 을 감소 시킬 수 있는 광범위 한 안전 기능 을 가지고 있다. 여기에는 포괄적인 보호 장치 및 모니터링 장비, 온보드 머신 진단 (On-Board Machine Diagnostics) 및 장애 및 경고 기술자를 감지할 수있는 고급 내장 자체 테스트 시스템이 포함됩니다. 마지막으로 xR80 자동 유지보수 및 교정 시스템 (Automated Maintenance and calibration System) 은 가동 중지 시간을 줄이고 시스템의 최고 수준의 성능을 보장합니다. 무엇보다도 APPLIED MATERIALS xR80 은 고급 이온 임플란터이며, 오류 및 기판 손상을 최소화하면서 정확성과 반복성을 최대화하도록 설계된 모니터입니다. 고에너지 설정, 고급 빔 컨트롤 (beam control), 자동화된 프로세스 루틴, 종합적인 안전 기능을 통해 고밀도, 고해상도 이온 임플란테이션을 완벽하게 선택할 수 있습니다.