판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #9202423

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xR은 상용, 반도체 및 연구 개발 애플리케이션을 위해 설계된 고성능 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 여기에는 강력한 고급 이온 증착 시스템 (High-End Ion Deposition System) 과 통일된 재료 계층을 보장하는 실시간 비접촉 이온 모니터 (Non-Contact Ion Monitor) 가 포함됩니다. 이 장치는 광범위한 임플란트 가스 유형 (Implant Gas Type) 과 모든 응용 프로그램에 적합한 에너지 수준을 지원합니다. AKT 9500xR에는 최대 12 개의 빔 라인과 2 개의 독립 그리드가 장착 된 멀티 에너지 빔 라인 (multi-energy beam line) 이 장착되어 여러 개의 임플란트 레이어를 사용할 수 있습니다. 격자는 웨이퍼 표면을 가로 질러 균일하고 동시에 임플랜테이션을 제공합니다. 임플란트 가스 종과 에너지 수준은 원하는 결과에 따라 조정 할 수 있습니다. 펄스 너비는 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 조정할 수도 있습니다. 빠르고 균일한 이식 및 레이어 형성을 위해 AMAT 9500xR에는 최첨단 디지털 제어 이온 모니터가 있습니다. "모니터 '는 표면 에 있는" 이온' 의 양 을 계속 측정 하여 용량 이 가능 한 한 균일 한 상태 를 유지 한다. 모니터는 또한 여러 기판에서 균일 한 임플란테이션을 자동화하는 데 사용됩니다. 9500xR 은 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 정확하게 제어할 수 있도록 설계되었으며, 따라서 모든 중요한 프로세스 단계를 정확하게 설정하고 제어할 수 있습니다. LCD 디스플레이와 터치 스크린 기술 (옵션) 을 갖춘 고급 사용자 인터페이스가 있습니다. 이 인터페이스는 진공 수준, 기판 온도, 이온 모니터 읽기와 같은 관련 조건을 표시하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 9500xR은 일관되고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 자동화된 프로세스 레코더 모듈 (process recorder module) 과 옵션 작업 목록 머신 (job list machine) 을 사용하여 여러 레시피를 저장하고 정확한 프로세스를 반복할 수 있습니다. 또한 "센서 '나" 가스' "피드 '와 같은" 액세서리' 를 추가하여 특정 고객 요구 를 충족 시킬 수 있는 도구 를 사용자 정의 할 수 있다. 마지막으로 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xR에는 AKT 기술 지원 및 고객 서비스가 지원됩니다.