판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #9121762

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xR 이온 임플란터 및 모니터는 반도체 장치의 제조에 사용되는 도구입니다. 그것 은 "칩 '이나" 웨이퍼' 기판 에 "이온 '을 심는 데 사용 되는데, 이것 은 장치 의 전기 특성 을 조정 하는 역할 을 한다. AKT 9500xR은 매우 효율적인 몇 가지 혁신적인 디자인을 갖춘 소형 장치입니다. 이 장치에는 최대 60,000 볼트의 속도로 이온을 가속 할 수있는 2 메가 와트의 고전압 발전기가 장착되어 있습니다. 이를 통해 기판에 이온을 이식 할 때 정확도와 용량이 증가합니다. 발전기는 다양한 금속 도핑 작업에도 사용될 수 있습니다. 또한 AMAT 9500xR 에는 플라즈마 제어 장치 (Plasma Control Unit) 가 포함되어 있어 임플란트 프로세스 중 사용자가 환경을 관리할 수 있습니다. 이 장치 에는 전자 압력, 전압, 온도 "센서 '가 들어 있어" 플라즈마' 환경 을 정확 히 제어 할 수 있다. 이를 통해 기판 손상 없이 최대 이식 속도 (implantation rate) 를 달성할 수 있습니다. 이 장치에는 최대 이온 용량 제어 장비도 포함되어 있습니다. 이 시스템을 통해 사용자는 이식 프로세스 전반에 걸쳐 지속적으로 모니터링할 용량 (dose) 수준을 설정할 수 있습니다. 이것은 원하는 수준의 임플란테이션이 달성되도록 보장하는 데 도움이됩니다. 9500xR에는 입자 감지 장치가 있습니다. 이 기계는 빠른 스캔 전기 방법을 사용하여 이식 된 챔버에 존재하는 입자 또는 오염 물질을 감지합니다. 이렇게 하면 착상 과정에서 원하는 순도 (purity) 수준이 유지됩니다. 마지막으로, 이 장치에는 이식 프로세스를 쉽게 관리하고 제어할 수 있는 고급 터치스크린 (touchscreen) 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 이식 레시피의 저장 및 관리를 허용합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS 9500xR은 칩이나 웨이퍼 기판에 이온을 이식하기위한 효율적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 장치는 매우 정확하며, 그 기능은 부드럽고 제어 된 이식 프로세스를 허용합니다.