판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500 #9226045
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판매
ID: 9226045
웨이퍼 크기: 8"
Implanter, 8"
Bernas source
Belt drive
PA Tube
9600 Cryo compressor
LEYBOLD Turbo controller
Isolation transformer
Wheel, 8"
Fixed restraint
Clips & heat sink
Hollow gripper
Single position beam stop
Does not include:
Roots roughing pump
Source cooling tube & extraction
Turbo pump
Beam line roughing pump
Monitor or PC controller
Missing parts:
Chamber upper part electrical feedthrough
KF Blank flange
Side wall latch interlock override switch box
Board missing from above wafer arm servo chassis
Blade sensor & feedthrough
Cooling water pipework
ARGON Gas module
Gas box filament chassis
Artisan power supply & one board
Gas box
(3) High pressure gas panels
Upper & lower magnet coil
Push fit air connector
Batch notch orientor
BNO Micro controller
Front bezel & loader door pic
Cryo pump
SCIM Box.
AMAT/AE AMAT/APPLIED MATERIALS 9500은 정밀 웨이퍼 임플란트를 위해 설계된 고에너지 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 반도체, MEMS 및 기타 관련 업계의 고품질 임플란테이션을 위한 신뢰할 수 있는 고급 시스템입니다. 무거운 이온 임플란터는 1250kW 핫 스왑 가능한 전원 공급 장치로 구동되며, 플라즈마 및 이온 임플란테이션에 일관되고 안정적인 하이 빔 전류를 제공합니다. 0.1 ~ 2880keV의 가변 에너지 범위를 사용하며 최대 9 "x 9" 의 샘플 크기를 처리 할 수 있습니다. 가변 임플란트 가속 전압 (IAV) (최대 30kV) 과 가변 추출 전압 (최대 850V) 을 사용하면 안정성과 품질이 뛰어난 고밀도 임플란테이션을 제공할 수 있습니다. AE AMAT 9500은 독립적 인 임플란트 포지셔너 (implant positioner) 를 특징으로하며, 단일 컨트롤러로 여러 이온을 동시에 프로그래밍할 수 있습니다. 여기에는 자동 알루미늄 에치 챔버 (aluminum etch chamber) 와 실리콘 챔버 (silicon chamber) 가 포함되어 있어 이식 물질의 효과적인 에칭과 빠른 증착이 가능합니다. 통합 극저온 제어 장치와 함께 AE APPLIED MATERIALS 9500은 임플란트 전달 중 우수한 열 안정성을 제공합니다. 또한, 이 기계는 백 리플렉션 모니터 (back-reflection monitor) 및 빔 모니터 (beam monitor) 를 갖추고 있어 프로세스 도구와 정확하게 빔을 정렬할 수 있습니다. 12.1형 LED 선명도 (crisp-clear) 모니터는 이식 시작부터 완료까지의 전체 이식 프로세스를 그래픽으로 시각화합니다. 실시간 데이터 로깅 레코드는 전체 사이클 로깅 (full cycle logging) 과 함께 스탬프되어 적절한 임플랜테이션을 보장합니다. 안전성을 보장하기 위해 AE 9500 (AE 9500) 은 적절한 방사선 차폐를 위해 설계되었으며 다양한 임플란트 재료 및 동위 원소와 함께 사용하도록 평가되었습니다. 견고한 기계적 (rugged mechanical) 구조는 뛰어난 안정성과 안정성을 위해 설계되었으며, 이식 산업 표준 (implantation industry standard) 으로 사용되는 도구를 위해 설계되었습니다.
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