판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500 #9191832
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판매
ID: 9191832
웨이퍼 크기: 6"
Ion implanter, 6"
Source: Bernas
Belt drive
Single position beam
Wheel
Gripper
(5) Cassettes
PC Controller
Isolation transformer
Heat sinks
Clips
Fixed restraints
Beam stop
PA Tube
Spares parts
(2) Turbo controllers
HEWLETT-PACKARD Boron
(4) Positions gas panels
Tilt: 0-7 Degree
Variable.
AMAT/APPLIED MATERIALS 9500은 다양한 반도체 제조 요구를 위해 만들어진 이온 임플랜터 및 모니터 장치입니다. 2 축 진공 (vacuum) 및 모듈식 챔버 (modular chamber) 시스템을 갖춘 고성능 장치로, 효율성과 정확성이 뛰어난 대규모 장치를 처리할 수 있습니다. 또한 우수한 임플란트 및 모니터 성능을 유지하면서 입자 오염을 줄이는 동적 이온화 공백 감소 시스템 (dynamic ionization void reduction system) 도 포함되어 있습니다. AMAT 9500 구성 요소는 처리/모니터링 분야에서 가장 높은 표준을 충족하도록 설계되어 있어, 최고 품질의 전자 기기 제조 (Electronic Device Manufacturing) 를 보장합니다. 이 장치는 빠른 열 어닐링 (rapid thermal annealing) 및 빠른 펄스 주입 (rapid pulse injection) 과 같은 복잡한 프로세스 중에서도 안정적인 처리를 제공하는 검증된 실적을 가지고 있습니다. 선형 (linear) 디자인이 적용된 이온 가이드 (ion guide) 는 매우 정확하고 안정적인 입자 궤적을 가능하게하여 기판 손상 가능성을 줄입니다. 또한 자동 웨이퍼 회전 (automatic wafer rotation) 기능을 사용하여 연산자가 처리 전에 웨이퍼를 정확하게 정렬할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 9500에는 모니터링 및 유지 관리 기능을 대폭 향상시키는 혁신적인 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 여기에는 시스템 성능에 대한 분석 피드백을 얻기 위한 강력한 진단 시스템 (Diagnostics System) 이 포함됩니다. 따라서 사용자가 개선이 필요한 영역을 결정할 수 있습니다. 최적화된 설계 덕분에 9500 은 확산, 산화 (oxidation), 증착 (deposition) 등 다양한 이식 및 모니터링 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 높은 이온 용량을 생산하고, 이온 빔 에너지를 제어하여 원하는 이식 결과를 얻을 수 있습니다. 이를 통해 AMAT/APPLIED MATERIALS 9500은 복잡한 설계 프로세스에서 대용량 생산 라인에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 전반적으로 AMAT 9500은 고성능, 효율성, 신뢰성 있는 이온 임플랜터 및 모니터 장치로, 다양한 반도체 제조 어플리케이션에 적합합니다. 최적 설계 (Optimized Design) 와 고급 (Advanced) 기능을 통해 오늘날의 전자 기기 제조업체의 까다로운 생산 요구에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.
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