판매용 중고 AIBT / ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar #9210937

AIBT/ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar는 고정밀 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 반도체 제작에 사용되어 이온을 기판으로 정확하게 통합 할 수 있습니다. 이 과정은 고급 전자 제품 생산에 중요합니다. AIBT iStar는 수평 이온 빔을 사용하여 이온을 기판에 이식합니다. 이 빔은 이온 소스 챔버와 강력한 RF 생성기를 사용하여 생성됩니다. 이온 소스 챔버 (ion source chamber) 는 조정 가능한 가속기 전압과 한 쌍의 처짐 코일을 가지고 있으며, 이를 통해 빔의 정밀 제어를 할 수 있습니다. RF 발전기는 고유 한 고전압 세트를 사용하여 고도로 집중된 이온 빔을 생성합니다. 이 고농도는 용량 정확도를 향상시키는 반면, 가변 가속기 전압은 다양한 빔 에너지를 제공합니다. 고급 ION 빔 기술 (ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY) iStar는 다중 축 스캔 시스템을 사용하여 이식 프로세스에서 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 스캔 시스템은 초고속 컨트롤러 (Ultra Fast Controller) 와 결합된 여러 개 (Galvanometer) 를 사용하여 빔이 원하는 패턴을 따르도록 합니다. 또한 IStar 에는 ion implantation 프로세스의 변화를 감지하는 고급 모니터링 툴 세트가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 연산자에게 가능한 오류를 알리고, 프로세스를 더욱 안정적으로 수행할 수 있습니다. 마지막으로, AIBT/ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar에는 운영자와 장비를 모두 보호하는 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이온 빔 (ion beam) 은 위험성 감지 즉시 차단하는 비상 정지 시스템 (emergency-stop system) 이 장착된 반면, 인터 록은 적절한 냉각 주기없이 높은 에너지 빔이 방출되는 것을 방지합니다. 전기 스파킹 (sparking) 의 위험을 줄이기 위해 라인 필터도 포함되어 있습니다. 요약하자면, AIBT iStar는 강력한 벤치탑 이온 임플란터 및 모니터입니다. 정밀하고, 유연하고, 안전한 임플랜터 프로세스를 제공하며, 반도체 제작에 필수적인 장비입니다.