판매용 중고 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9268910

AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B는 반도체 제조에 사용되는 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 이 시스템은 많은 정밀도 및 각도 구성에서 0.5 nA ~ 10 mA 의 빔 전류를 사용하여 기판 물질에 이온을 정확하고 일관되게 이식하도록 설계되었습니다. HP 8970B 장치는 Uniformity, Low Dose 및 High Dose Implantation에 대한 빔 매개 변수를 잘 제어합니다. AGILENT 8970B (AGILENT 8970B) 의 특징 중 하나는 다양한 웨이퍼에 대한 이식 매개변수의 높은 반복성과 제어성입니다. 기계는 2 kV 및 2 개의 전자 전압 공급 장치와 DC/RF 전원 변환기를 사용합니다. 이온 빔 포커싱은 빔 스캐닝 도구로 제어되며, 이를 통해 X, Y, Z 축 길이 및 크기 매개변수를 독립적으로 조정할 수 있습니다. 빔은 가속기/디플렉터 에셋으로 구동되며 빔 전류는 패러데이 컵 (Faraday cup) 을 사용하여 독립적으로 측정됩니다. 이 모델에는 빔 전류 모니터 (beam current monitor) 와 임플란테이션 매개변수 기록 및 프로세스 변수 모니터링 소프트웨어가 포함됩니다. KEYSIGHT 8970B 장비에는 로터리 및 선형 캐리어, 셔틀 등 다양한 웨이퍼 캐리어가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 캐리어는 다양한 두께와 크기의 웨이퍼를 수용할 수 있으며, 최대 8 인치 (직경) 의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 완전히 자동화되어 다양한 모양과 크기로 웨이퍼 임플란트 (Wafer Implant) 를 수행하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 또한, 이식 전에 필요할 수있는 웨이퍼 얇아지거나 산화를위한 이온 소스 유닛을 포함한다. 8970B는 정확하고 재현 가능한 임플랜테이션 및 처리 조건을 제공하며, 이는 고품질 반도체 장치 제조에 필수적입니다. 또한 임플란트 (Implant) 분석을 위한 탁월한 모니터링 기능을 제공하며, 다양한 애플리케이션의 이식 조건을 최적화하는 데 사용될 수 있습니다. 이 기계는 빔 (beam) 특성을 모니터링하고 이식 과정의 정확성과 반복성을 최적화하는 데 사용될 수도 있습니다. HEWLETT-PACKARD 8970B 도구는 신뢰성이 높고 비용 효율적이며, Ion Implantation 애플리케이션에 이상적인 솔루션으로 간주됩니다.