판매용 중고 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9147071

AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B는 대용량, 고정밀 이온 이온 이식 이식 응용 프로그램을 위해 설계된 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 시스템은 임플란트 (Implant) 및 모니터 (Monitor) 기능을 모두 사용할 수 있는 사용자 정의 가능한 독립형 콘솔로 구성됩니다. 이 장치는 평면 및 3 차원 웨이퍼를 포함하여 다양한 기판에서 실행되도록 설계되었습니다. 2축 스캐닝 머신을 X, Y, U 및 V 스캐너에 의해 개별적으로 또는 동시에 제어하여 임플란테이션 영역을 정확하게 배치할 수 있습니다. 초점 캐리지 (focusing carriage) 에는 정밀 용량의 적용을 허용하는 4 중 선형 가속기 및 기술이 포함됩니다. 정확한 용량 제어를 위해 콘솔에는 펄스 앰프 (pulse amplifier), 빔 처짐 (beam deflection) 및 최대 30kV 및 최대 20mA의 전류가 작동하는 이온 소스가 포함됩니다. 이 이식 (implanter) 모니터는 모든 용량 수준 및 속도에 대한 정밀도를 결정하는 광범위한 진단 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 임플란트 범위를 정확하게 모니터링 할 수있는 3 축 선형화 기능이 포함됩니다. 이 도구에는 빔의 광도에 대한 피드백 (feedback) 을 제공하는 내장 광원 모니터도 포함되어 있습니다. 온보드 판독 (readout) 관리 자산을 통해 여러 임플란트 실행을 통한 데이터 로깅 기능을 통해 통계적 데이터 정확도와 제어를 향상시킬 수 있습니다. HP 8970B에는 2-4D 임플란테이션용 SIMPLAN Pro 패턴 생성 소프트웨어를 포함한 여러 소프트웨어 옵션이 있습니다. 이 소프트웨어는 운영자에게 패턴 정의, 빔 제어, 용량 제어를 위한 포괄적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. 이 소프트웨어는 또한 드리프트 보정 (drift correction) 및 정렬 유틸리티 (alignment utility) 를 사용하여 빔의 정확도를 향상시킵니다. AGILENT 8970B의 통합 안전 기능은 유해 재료 응용 프로그램에 적합합니다. 이 모델은 열 전도성 펌핑 장비를 사용하여 오염 방지를 위해 챔버 내 유해 가스 (Hazardous Gase) 와 세라믹 고정 공간 (Ceramic Limined Space) 을 최소화합니다. 또한 잠재적 인 위험 배출으로부터 안전을 보장하기 위해 통합 광학 빔 격리 시스템 (Optical Beam Containment System) 이 포함되어 있습니다. 마지막으로, 이 장치에는 완전 자동 닫힌 루프 제어 장치 (closed-loop control unit) 가 함께 제공되어 시스템 성능을 모니터링하고 조정합니다. 전반적으로, 이 이온 임플란터 및 모니터 머신은 용량, 배치, 빔 모양, 빔 정렬 및 빔 포커스를 제어하는 강력한 도구를 제공합니다. 통합 안전 기능 및 사용자 정의 가능한 소프트웨어를 통해 8970B는 고정밀 이온 임플란테이션 어플리케이션을위한 신뢰할 수있는 도구입니다.