판매용 중고 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9131502

AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B
ID: 9131502
Noise figure meter.
AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B Ion Implanter and Monitor는 반도체 장치 제조에서 균일하고 정확한 임플랜테이션을 달성하기위한 중요한 도구입니다. 그것 은 흔히 원하는 "도핑 '수준 을 이루는 데 사용 되므로, 반도체 내 의 전류 의 흐름 을 조절 한다. HP 8970B는 몬테 카를로 임플란테이션 (Monte Carlo Implantation) 기술을 사용하여 목표 외 임플란테이션이나 입자 산란이 거의 없어도 원하는 이온 범위를 반도체의 올바른 영역으로 정확하게 지시합니다. 이 기술은 또한 추가 임플란트 코드 설정의 필요성을 최소화하고 이식 프로세스를 단순화합니다. AGILENT 8970B는 또한 사용자 정의 가능한 전압, 각도, 회전 및 에너지 설정을 허용하며, 사용자는 프로세스를 각 특정 이식 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 8970B (continuous-scan monitoring) 기능을 포함하여 챔버 매개변수를 지속적으로 측정하고 각 임플란트가 정확하게 이미지화되어 있는지 확인합니다. 또한 자동 피드백 제어 (automated feedback control) 를 통해 임플란테이션 매개변수가 정확하고 규제되도록 합니다. HEWLETT-PACKARD 8970B는 1 차 이온 이식 작업 외에도 산화, 질화, 결정화와 같은 다른 프로세스 작업도 가능합니다. 이러한 프로세스 작업을 통해 사용자는 디바이스의 성능을 수정하거나 향상시킬 수 있습니다. 한 기계가 이식 (implantation) 및 기타 중요한 처리 단계를 모두 수행할 수 있다는 사실은 비용을 절감하고 효율성을 향상시킵니다. KEYSIGHT 8970B에는 추가 사용자 정의를 위해 추가 가능한 옵션 패키지도 있습니다. 이러한 패키지를 통해 사용자는 요구 사항에 따라 프로세스를 사용자 정의할 수 있으며, 제품 속도와 웨이퍼 (wafer) 처리량을 추적할 수도 있습니다. 또한 AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B에는 이식 이온을 정확하게 측정하는 매우 민감한 이온 감지 장비가 포함되어 있으며, 사용자는 이식 진행 상황을 모니터링할 뿐만 아니라 필요한 경우 수정합니다. 또한 HP 8970B는 안전성을 고려하여 설계되었습니다. 여기에는 고전압 인터 록, 정적 제어 시스템 및 누출 감지 장치가 포함됩니다. 또한 전용 측정 및 제어 시스템 (Control System) 이 포함되어 있어 안전하고 통제된 운영을 보장합니다. 요약하면, AGILENT 8970B는 다양하고 신뢰할 수있는 이온 임플란터 및 모니터입니다. 강력한 몬테 카를로 (Monte Carlo) 임플란터와 사용자 정의 가능한 설정을 통해, 최소한의 오프 타겟 임플란테이션 또는 산란을 통해 정확하고 정확한 임플랜테이션 제어를 허용합니다. 또한 프로세스의 추가 사용자 정의를 위해 추가 가능한 연속 스캔 모니터링 머신 (continuous-scan monitoring machine), 자동 피드백 제어 (automated feedback control) 및 기타 옵션 패키지가 장착되어 있습니다. 또한, 고전압 인터 록 (interlock), 정적 제어 도구 (static control tool) 및 누수 감지 자산 (leak detection asset) 을 고려하여 안전성을 고려하여 설계되었습니다. 이러한 기능은 다른 속성과 함께 8970B를 반도체 장치 제작용 이동 도구로 만듭니다.
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