판매용 중고 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #171537

AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B 이온 임플란터 및 모니터는 실험실 및 반도체 제조 공장에서 웨이퍼의 이온 임플란트를 수행하기위한 강력하고 효율적인 장치입니다. 반도체 제조 공정에서 사용되는 임플란트 (Implant) 절차에 대한 최고의 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 고급 이온 광학 장비 (Advanced ion optics equiples) 는 임플란트 에너지가 높더라도 매우 높은 수준의 용량 균일성을 유지할 수 있습니다. 이온 임플란터는 스테인리스 스틸 진공 챔버, 빔 라인 시스 및 고해상도 빔 제어 시스템으로 구성됩니다. 약실 내부 에는 "이온 '광선 을 가속 시키고 감속 시키기 위한 전극 한 개 가 놓여 있다. 빔 라인 시스 (Beam Line Sheath) 는 빔 라인을 둘러싸는 3 개의 챔버로 구성되어 있으며, 접촉을 통해 전기 사료를 제공하고 빔 라인과 그 구성 요소의 오염을 방지합니다. HP 8970B 의 고급 빔 제어 장치 (Advanced Beam Control Unit) 를 사용하면 공준기 및 드리프트 튜브 머신을 정확하고 반복적으로 정렬할 수 있습니다. 이를 통해 광범위한 에너지 범위 (최대 1.50 Kevs) 에 대한 정확한 빔 형성과 정확성이 가능합니다. 최대한의 균일성과 정확성을 위해 최적의 빔을 만들 수 있도록 AO (Automatic Optimize) 및 ATC (Automatic Tilt Correction) 를 포함하는 최적화 기술 제품군을 사용하여 빔을 더욱 최적화할 수 있습니다. AGILENT 8970B는 이식 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 광학 현미경 도구 (Optical Microscope Tool) 는 웨이퍼 (Wafer) 표면을 보면서 임플란트의 진행 상황을 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 이 에셋을 사용하면 입자를 찾을 수 있고, 온도 조절 (temperature control) 모델을 제공할 수도 있습니다. 또한 8970B (Advanced Mix Chamber) 는 프로그래밍 가능한 온도 및 용량 제어를 특징으로하며, 사용자가 필요에 따라 장비를 사용자 정의할 수 있습니다. KEYSIGHT 8970B는 또한 임플란트 프로세스에 대한 강력한 로봇 분석을 제공하고 오염 수준을 모니터링하는 패턴 인식 시스템 (Pattern Recognition System) 을 갖추고 있습니다. 이 장치는 비소, 붕소, 크롬 (Chromium) 과 같은 특정 오염 물질을 식별 할 수 있으며, 웨이퍼에 대한 높은 수준의 안전을 제공합니다. 또한 HEWLETT-PACKARD 8970B 에는 정교한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있어 실험실의 기존 IT 또는 자동화 시스템에 통합할 수 있습니다. 요약하자면, AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B 이온 임플란터 및 모니터는 이온 임플란테이션을 수행하기 위한 고급적이고 안정적인 장치입니다. 정교한 빔 컨트롤 툴 (beam control tool) 과 모니터링 자산 (monitor asset) 은 반복 가능하고 정확한 임플랜테이션 절차를 보장하여 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 보장합니다. 패턴 인식 모델 (Pattern Recognition Model) 은 사용자가 오염 물질을 식별하고 모니터링할 수 있도록 하여 안전 계층을 추가합니다. 마지막으로, 정교한 소프트웨어 장비를 통해 디바이스를 기존 실습/자동화 시스템에 손쉽게 통합할 수 있습니다.