판매용 중고 YOKOGAWA / ANDO AHM 861 #9376009
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YOKOGAWA/ANDO AHM 861은 반도체 공장 생산 라인에 사용하도록 설계된 자동 핸들러 기계입니다. 최대 8 인치 웨이퍼 프로세싱 프로세스를 간소화하는 고도로 자동화된 솔루션입니다. 이 기계는 하이엔드 (High-End) 및 일반 (Normal) 생산에 적합하므로 다양한 웨이퍼 크기와 작업을 효율적으로 처리할 수 있습니다. ANDO AHM 861은 모듈 식 다기능 유닛으로, 대량의 웨이퍼 생산이 필요한 생산 라인에 이상적입니다. 이 장치는 전송, 로드, 언로드, 인덱싱, 활성화, 활성화, 인터페이스 및 비전 검사를 포함한 광범위한 작업 및 프로세스를 지원합니다. 주 이동 로봇 (Main Transfer Robot) 외에 자율적 인 여러 개의 독립적 인 이동 캐리지가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 입력에서 출력으로의 정확한 웨이퍼 전송이 가능합니다. 이 장치는 또한 공정 전에 웨이퍼 (Wafer) 의 표면 결함을 감지하도록 설계된 고급 검사 장비 (Advanced Inspection Equipment) 와 통합되었습니다. YOKOGAWA AHM 861은 사용 편의성과 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 운영자는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 매개변수를 구성, 조정하고, 프로세스 작업을 정의하고, 시스템 성능을 모니터링할 수 있습니다. 여기에는 안정된 운영을 보장하고 유지 관리 비용을 절감하는 고도로 최적화된 부품 냉각 장치 (Part Cooling Unit) 가 포함되어 있습니다. 또한 유지 보수 전후의 신속한 재설정을 통해 다운타임을 최소화할 수 있습니다. AHM 861은 대용량 생산이 필요한 웨이퍼 처리 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 모듈식 설계, 고급 검사기, 직관적인 사용자 인터페이스, 유지 보수 친화적 (maintenance-friendly) 기능으로, 공장 생산 라인을 위한 신뢰할 수 있는 솔루션입니다. 또한, 소형 (compact) 크기는 다양한 크기의 공장에 쉽게 통합될 수 있으므로 운영 및 운영 확장성이 효율적입니다.
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