판매용 중고 ULVAC Keytran III #9157914

ULVAC Keytran III는 다양한 유형의 반도체 웨이퍼 (전송, 연마 및 스퍼터 코팅) 의 수송 및 조작에 사용되는 완전 자동화 처리기입니다. "와퍼 '를 처리 하고 보호 하는 데 있어서 가장 용도 가 좋고 효율적 인 수단 중 하나 가 되는 완전 한" 피처' 를 제공 한다. Keytran III에는 이중 기계 작업으로 알려진 2 챔버 디자인이 있습니다. 주 챔버 (main chamber) 는 한 공정에서 다른 공정으로 웨이퍼 전송에 사용되고, 다른 2 차 챔버 (secondary chamber) 는 수동 작업에 사용됩니다. 2 차 챔버 (secondary chamber) 는 인체 공학 디자인으로 조정되어 웨이퍼 처리 및 처리 작업을 쉽게 제어 할 수 있습니다. 2 개의 챔버 (chamber) 는 액체 질소를 사용하여 설계되고 웨이퍼의 정확한 온도 및 습도 제어를 위해 안정성을 제공하는 중간 냉각 스테이션 (intermediate cooling station) 으로 분리됩니다. 이 스테이션은 효율적인 운영을 허용하면서 프로세스 변동이 없습니다. ULVAC Keytran III 제어 시스템은 Linux OS 기반이며 모든 Windows 및 Mac 운영 체제와 호환됩니다. 따라서 기존 운영 제품군에 쉽게 통합할 수 있습니다. 최적의 웨이퍼 전송 및 조작을 위해 핸들러에는 고급 모션 컨트롤 (motion control) 서브시스템이 장착되어 있습니다. 이를 통해 미세 그레인 작업을 위한 정확한 이동과 정확한 점 정렬이 가능합니다. 또한 Keytran III에는 모든 운영 운영자가 모든 설정을 빠르고 효율적으로 조정할 수 있는 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 가 있습니다. 통합 도움말 시스템은 사용자가 프로세스를 안내하므로 더 큰 배치 (batch) 를 처리해도 올바른 작동이 보장됩니다. 또한, ULVAC Keytran III는 웨이퍼 자체에서 잠재적 인 결정질 변화를 방지하는 독특한 자동 균질 시스템을 사용합니다. 이렇게 하면 생산 라인이 세트 정밀도 사양 내에 유지됩니다. Keytran III 는 다양한 제작 단계에서 안정성, 사용 편의성, 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 기능으로 인해 프로덕션 팀 중 가장 신뢰할 수있는 도구 중 하나입니다.