판매용 중고 SRM H24 #293586546

제조사
SRM
모델
H24
ID: 293586546
빈티지: 2003
Handler 2D Mark vision system PC Turret / TNR Assembly 2003 vintage.
SRM H24 (Automatic Handler) 는 다양한 전자 부품 제조에 사용되는 반도체 웨이퍼 및 박막 디스크용 Automatic Handler입니다. 이 핸들러는 Wafer 및 Thin-Film 디스크에 대한 자동 로드, 언로드 및 전송 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 주요 목적은 다양한 프로세스 간에 웨이퍼를 이동하고, 빠르고, 효율적인 프로세스 기능을 제공하여 물류 효율이 높고, 수익률이 향상되는 것입니다. SRM H 24 Handler는 제어 캐비닛, 웨이퍼 카세트, 툴링 포트, 운송 챔버, 진공 대피 장비 등 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 제어 캐비닛에는 핸들러를 작동시키는 데 필요한 모든 전기 부품 (electrical component) 과 드라이브가 들어 있습니다. 또한 운영자가 핸들러를 모니터링하고 제어하는 데 사용할 수있는 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있습니다. 웨이퍼 카세트는 웨이퍼를 저장하고 처리기에 공급하는 데 사용됩니다. 툴링 포트는 설정 및 유지 관리를 위해 핸들러에 액세스하는 데 사용됩니다. 수송 챔버 (transport chamber) 는 웨이퍼가 카세트에서 공정 챔버로 이동하는 곳입니다. 마지막으로, 진공 대피 시스템은 장치 전체에 걸쳐 적절한 웨이퍼 정렬을 보장합니다. H24 핸들러 (H24 Handler) 는 다양한 직경, 두께 및 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있으므로 뛰어난 유연성을 제공합니다. 이러한 유연성을 통해 다양한 프로세스에서 사용할 수 있습니다. 또한, 통합 관리 인터페이스는 전체 시스템에 대한 최적의 추적 및 모니터링을 보장합니다. 또한 H 24 핸들러 (H 24 Handler) 에는 운영자, 공정 챔버 및 웨이퍼를 보호하기 위해 여러 안전 프로토콜이 있습니다. 비상시 공구를 종료하는 비상스톱 (Emergency Stop) 기능이 있습니다. 또한 자동 재시작 (Auto-Restart) 기능을 사용하여 응급 후 에셋을 다시 시작합니다. 더욱이, 이 처리기 에는 "웨이퍼 '오염 을 감시 하고 탐지 할 수 있는 여러 가지" 센서' 가 있다. SRM H24 는 높은 수준의 자동화 및 효율성을 제공하므로 모든 반도체 (semiconductor) 제작 프로세스에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다. 통합 관리 (Integrated Management) 모델은 프로세스를 정확하게 준수하는 반면, 안전 프로토콜은 높은 수준의 운영자 안전 (Operator Safety) 을 제공합니다. 유연성과 경제성을 결합한 이러한 모든 기능을 통해 SRM H 24는 모든 반도체 제조 공정에 가장 적합한 핸들러 (handler) 가 됩니다.
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