판매용 중고 RASCO SO 1000 #293765490

RASCO SO 1000 (RASCO SO 1000) 은 각종 청소실 환경에서 웨이퍼를 처리하기 위해 반도체 제작 산업에 사용되는 완전 자동화 처리기입니다. 핸들러는 웨이퍼 융제 및 청소 용 트랜스퍼 암 (transfer arm), 웨이퍼 성장을위한 대량 전송 머신 (mass transfer machine for wafer grow) 또는 통합 기판 전송 암 (integrated substrate transfer arm) 으로 구성 될 수 있습니다. RASCO SO1000은 4 가지 주요 구성 요소 (웨이퍼 처리 인터페이스, 로봇 컨트롤러, 프로세스 제어 모듈 및 주변 장치) 로 구성됩니다. 웨이퍼 처리 인터페이스 (wafer processing interface) 는 스캐너, 웨이퍼 입력 및 출력 장치, 웨이퍼 프로세스 챔버 등 다양한 장비와 연결하는 장비의 일부입니다. 즉, 시스템의 다른 부분으로 명령을 보내고, 로봇 컨트롤러로부터 받은 데이터를 해석하며, 장치 작업 (unit operations) 의 완료를 제어하는 역할을 합니다. 로봇 컨트롤러는 로봇 이동과 위치를 제어하고 속도 (speed) 와 가속 (acceleration) 과 같은 다양한 기계 매개변수를 처리합니다. 강력한 16 비트 RISC 프로세서, 여러 개의 I/O 인터페이스 및 컴퓨터의 다른 부분과의 통신이 가능한 통신 포트를 포함하는 특수 컴퓨터 보드가 있습니다. 프로세스 제어 모듈은 프로세스 매개변수 (예: 가스, 온도, 습도) 를 설정, 모니터링 및 제어하는 데 사용됩니다. 여기에는 셀 템플릿, 웨이퍼 재설정 기능 및 배치 분석과 같은 기능이 포함됩니다. 주변 장치는 로봇과 도구의 다른 부분을 연결하는 데 사용됩니다. 여기에는 카세트 로더 및 언로더, 웨이퍼 트레이 전송 장치, 웨이퍼 인덱서, 온도 조절 장치 등이 포함됩니다. 웨이퍼 트레이 전송 장치는 카세트 로더 (loader) 와 언로더 (unloader) 와 웨이퍼 인덱서 사이에 웨이퍼를 전송하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 인덱서는 고속 웨이퍼 정렬을 지원하는 데 사용됩니다. RASSO SO 1000 핸들러는 반도체 제조 산업을 위한 매우 효율적이고, 안정적이며, 유연한 솔루션입니다. 플럭스 (fluxing), 클리닝 (cleaning), 에칭 (etching), 증착 (depositing) 등 다양한 작업에 적합합니다. 견고 한 "디자인 '과 더불어 종합 기능 을 갖춘 것 으로, 그것 은 당신 의 모든" 웨이퍼' 처리 필요 를 위한 안정성 있고 믿을 만한 기계 이다.