판매용 중고 NUTEK NTM 910TVXL #9286206

NUTEK NTM 910TVXL 핸들러는 반도체 제작 산업을 위해 특별히 설계된 자동 장비 처리 시스템입니다. 이 핸들러는 카세트, 로드 잠금 (Load Lock) 및 처리 모듈 간에 최대 2개의 프런트 투 백 (Front-to-back) 이동 웨이퍼로 이동할 수 있습니다. 최대 오염 제어를 유지하면서 높은 수율 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 핸들러는 모듈식 (modular) 구조로 설계되어, 거의 모든 cleanroom 환경에 유연하게 통합할 수 있습니다. 표준 크기는 28.6 x 32.4 인치 (WxD) 이지만 고객 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 크기를 생산할 수 있습니다. 또한 핸들러의 제어 시스템에는 LCD 터치스크린 인터페이스가 있는 PC (디지털 신호 프로세서) 및 산업용 PC가 포함됩니다. NTM 910TVXL 처리기에는 안전한 웨이퍼 배치 및 검색을위한 2 개의 웨이퍼 전송 암이 있으며, 웨이퍼와 오염 물질 사이에 접촉이 없습니다. 웨이퍼를 옮길 때 기계식 레일로 인한 마찰을 제거하는 공기 베어링 진공 시스템 (air-bearing vacuum system) 을 사용합니다. 웨이퍼는 기계 여행 내내 지원됩니다. 방송국 사이를 여행하는 동안, 웨이퍼는 항상 진공에 의해 지원됩니다. 따라서 가능한 오염 물질과의 접촉을 피하십시오. NUTEK NTM 910TVXL 핸들러는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 처리에 필요한 모든 요구 사항을 충족합니다. 그것 은 기존 의 "클린룸 '생산" 셋업' 에 쉽게 포함 될 수 있어서 많은 반도체 산업 에 적합 한 선택 을 할 수 있다. 또한 매우 높은 수준의 오염 제어를 유지하면서 믿을 수 있고 비용 효율적입니다 (영문). 전체적인 설계는 최대의 유연성을 제공하므로, 다양한 애플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다.