판매용 중고 MIRAE MR9210 #9157593

MIRAE MR9210은 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 핸들러입니다. 4 축 로봇 암 디자인이 특징이며 다양한 크기로 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 로봇 암에는 X-Y-Z 방향으로 움직일 수있는 4 가지 자유도가 있으며, Z축을 중심으로 회전할 수 있습니다. "로봇 '은 진동 이나 희생 의 정확성 없이 최대 20" 킬로그램' 의 탑재 로 직경 이 375mm 까지 "웨이퍼 '를 움직 이고 조작 할 수 있다. 차체는 무전기 니켈 도금 알루미늄으로 구성되어 내구성과 진동 제어를 제공합니다. 고립 된 진공실은 정확한 웨이퍼 처리를 위해 안정적인 흡입을 허용합니다. 이 로봇은 고품질 전기 부품 (electrical component) 을 갖추고 있으며 고속 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 전체 주기 시간은 0.8 초이며 X축 작업의 경우 최대 속도 340mm/sec, Y축 작업의 경우 200mm/sec, Z축 작업의 경우 110mm/sec입니다. 또한 MR9210 은 자동 제어 프로세스 (automated control process) 의 매개변수를 조정하는 데 사용할 수 있는 터치 스크린 디스플레이를 제공합니다. 이 로봇은 작업 환경 내에서 다른 자동 시스템과 통합하기 위해 6 개의 프로그래밍 가능한 입/출력 포트를 갖추고 있습니다. "로봇 '은 안전 과 정확성 을 보장 하기 위하여 일꾼 과" 로봇' 자체 를 보호 하도록 설계 된 여러 가지 기능 을 갖추고 있다. 이러한 기능에는 긴급 정지 버튼, 안전 연동 시스템 (Safety Interlock System) 및 처리 중인 웨이퍼의 무게 및 크기를 자동으로 감지하기위한 로드 센서 (Load Sensor) 가 포함됩니다. 전반적으로 MIRAE MR9210은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 고급 정밀 로봇 핸들러입니다. 뛰어난 속도, 정확성, 내구성을 유지하면서 지능적인 자동화 및 안전 기능을 갖춘 뛰어난 성능을 제공합니다. MR9210 (MR9210) 은 효율적이고 안정적인 로봇 처리기로 반도체 생산 공정의 생산 시간과 품질을 높일 수 있습니다.