판매용 중고 KLA / TENCOR 300 DFF #9302468

제조사
KLA / TENCOR
모델
300 DFF
ID: 9302468
빈티지: 2011
Dual wafer load handler 2011 vintage.
KLA/TENCOR 300 DFF는 다양한 시트 및 웨이퍼 기판에 대한 검사 서비스를 제공하도록 설계된 고정밀 3 축 검사 핸들러입니다. "핸들러 '는 최대 4" 마일' 두께 로 12 "인치 '크기 의 기판 을 처리 할 수 있다. 이 장치는 결함 검사, 입자 검사, 트렌치, 도량형, 코팅 등 다양한 검사 응용 프로그램에 활용할 수 있습니다. 이 장치에는 각 검사 (inspection) 응용 프로그램 중 최적의 성능을 보장하기 위해 다양한 기능이 장착되어 있습니다. KLA 300 DFF는 초당 최대 600 ½ m의 고속 웨이퍼 스캔 속도를 제공하며, 최대 1 밀리미터 두께의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한, 완전히 조절 가능한 X, Y 및 Z 축은 정확한 검사를 위해 웨이퍼의 정확하고 반복 가능한 이동을 제공합니다. 이 핸들러 (Handler) 는 까다로운 환경에서 사용할 수 있도록 설계되었으며, 다양한 기판을 검사하기 위한 견고하고 안정적인 플랫폼을 제공합니다. TENCOR 300 DFF 핸들러에는 여러 가지 고급 제어 (advanced control) 기능이 장착되어 있어 올바른 수준의 정확성이 보장됩니다. 이 장치에는 전체 웨이퍼 처리 프로세스 (wafer handling process) 를 모니터링하는 내장 웨이퍼 카세트 제어 시스템 (wafer cassette control system) 이 포함되어 있으며, 사용자에게 웨이퍼 상태 및 위치에 대한 최신 정보를 제공합니다. 추가 정확성을 위해, 핸들러는 또한 자동 중심 기능 (auto-centering function) 을 특징으로하며, 이는 검사 중 개선된 정밀도를 위해 웨이퍼가 항상 올바르게 중심이 되도록 보장합니다. 이 장치에는 또한 제로 결함 (Zero-Defects) 경보 (Alarm) 와 같은 다양한 통합 안전 기능이 있으며, 잠재적 결함이 감지 될 때 운영자에게 경보를 표시하고 자동으로 웨이퍼를 홀더에서 해제하는 진공 해제 시스템 (Vacuum Release System) 이 있습니다. 정전 또는 응급. 300 개의 DFF 핸들러 (handler) 는 사용자가 가장 정확하고 정확한 검사 결과를 얻을 수 있는 효과적이고 신뢰할 수 있는 장치입니다. 이 장치의 다양한 기능 (features) 과 안전 시스템 (safety system) 은 운영자가 매우 정확하고 정확하게 검사를 수행하는 데 필요한 도구를 가지고 있으므로 다양한 검사 응용프로그램에 귀중한 도구입니다.
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