판매용 중고 DELTA CASTLE LX 7500 #9166016

DELTA CASTLE LX 7500은 단일 패스로 최대 7500 Wafer 로트를 처리 할 수있는 핸들러입니다. 200mm 이상의 넓은 처리 영역과 고속 웨이퍼 처리 장비가 내장되어 있습니다. 이 시스템은 또한 웨이퍼 처리 보안을 보장하는 전용 클램프 (clamp) 설계를 갖추고 있습니다. 직관적이고 사용하기 쉬운 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 를 통해 각 로트에 대한 특정 처리 요구사항을 구성하는 여러 매개변수를 빠르게 설정하고 재구성할 수 있습니다. LX 7500 핸들러에는 수동 핸드 로딩을 위한 별도의 플랫폼이 포함되어 있으며, 외부 픽 앤 플레이스 (pick-and-place) 장치 (옵션) 와 통합하기 위한 전용 포트가 있습니다. 또한 손잡이에서 다음 공정으로 재료를 빠르게 옮길 수있는 인라인 (in-line) 운송 장치가 있습니다. 델타 캐슬 (DELTA CASTLE) LX 7500은 기판에 웨이퍼를 골라 넣는 데 사용되는 공압 제어 진공 헤드가있는 통합 웨이퍼 리프터 머신을 제공합니다. 핸들러는 또한 통합 기판 클램프와 함께 제공되어 안전하고 균일 한 기판 처리를 제공합니다. 연산자는 표준 작업과 클램프 작업 사이를 쉽게 전환 할 수 있습니다. 또한 LX 7500에는 처리 중에 웨이퍼를 분리하는 자체 포함 웨이퍼 분리기 도구가 있습니다. 분리기 에셋은 2 개의 자체 클리닝 (self-cleaning) 으로 구성되며, 반지름이 다른 바퀴를 정렬하여 분리를 위해 기판에서 뒤틀릴 수 있습니다. 이 바퀴 의 크기 는 "웨이퍼 '의 크기 에 가장 알맞게 조정 할 수 있다. 델타 캐슬 LX 7500 핸들러의 안전은 우선 순위입니다. 핸들러에는 웨이퍼 보안을 강화하기 위해 잠금 가능한 커버가 포함되어 있습니다. 핸들러는 또한 E-stop, 센서 및 인터 록 표시기를 사용하여 처리 작업 중 안전을 더욱 보장합니다. 유지 보수 및 문제 해결 측면에서 LX 7500은 자동화된 웨이퍼 클리닝 사이클 (wafer cleaning cycle) 과 통합 진단 모델 (diagnostics model) 을 통해 문제를 진단하고 해결할 수 있습니다. 가동 중지 시간 (downtime) 은 핸들러 (handler) 로 최소화되며, 문제가 해결된 후 장비를 신속하게 다시 시작할 수 있습니다. 델타 캐슬 (DELTA CASTLE) LX 7500은 다양한 옵션을 제공하며 다양한 기판과 웨이퍼로 작동 할 수 있으며, 동급 최고의 제품 중 하나입니다.