판매용 중고 COHU / MULTITEST MT 9510 #293641884

COHU/MULTITEST MT 9510은 모든 처리 단계를 통해 반도체 웨이퍼 처리를 자동화하도록 설계된 자동 핸들러입니다. 최대 3 개 캐리어의 자동 교환을 지원하고 입력 캐리어 (Input Carrier) 또는 출력 캐리어 (Output Carrier) 를 신속하게 선택할 수 있는 자동 선택기 (Auto-Selector) 가 장착되어 있습니다. 핸들러는 200mm 및 300mm 웨이퍼 (최대 직경 355mm) 를 포함한 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 고속 수직 인터페이스를 통해 독립형 장비뿐만 아니라 자동화된 시스템에 액세스할 수 있습니다. 이 기계는 표준 인터페이스 (Standard Interface) 를 통해 다양한 장비에 쉽게 연결할 수 있으며, 수많은 응용 프로그램과의 호환성이 보장됩니다. 고속 수평 전송을 통해 테스트 시간을 단축하고 생산성을 높일 수 있으며, 이동 속도는 최대 60mm/s입니다. COHU MT 9510에는 높은 처리량 프로세스를위한 총 4 개의 로드 위치, 입력용 2 개, 출력용 2 개가 있습니다. 로드 포트는 캐리어를 쉽게 로드하고 언로드할 수 있도록 설계되었습니다. 테스트를 위해, 핸들러에는 8 비트 또는 12 비트 다이를 정확하게 테스트 할 수있는 다이 그랩 (die grabs) 이 장착되어 있으며, 정밀도는 30 µm 이상입니다. 다이 그랩 (die grabs) 의 수직 위치 정밀도는 ± 10 äm보다 우수합니다. MULTITEST MT 9510에는 자동 매핑 (Auto Mapping) 과 같은 기능이 장착되어 있으므로 테스트 전에 수동으로 다이를 매핑할 필요가 없습니다. 기계는 또한 각 하중 후에 웨이퍼를 시작점으로 되감기위한 회전 목마 플랫폼 (carousel platform) 을 가지고 있습니다. 이렇게 하면 테스트 시간이 단축되고 정확도가 향상됩니다. 또한, 이 장비는 손쉽게 유지 보수할 수 있도록 설계되었으며, 모듈식 (modular) 설계를 통해 쉽게 수리 및 업그레이드할 수 있습니다. 처리기는 고급 운영 체제, TFT 색상 디스플레이, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 사용하여 쉽게 탐색하고 작업할 수 있습니다. 이 시스템에는 모든 시스템 문제를 감지하기 위한 경고 (alarm) 및 장애 감지 (fault detection) 도 장착되어 있습니다. MT 9510 은 이중 수준의 안전 아키텍처를 갖추고 있어 운영 중 운영자가 안전하게 보호됩니다. 여기에는 도어 인터록, 비상 정지 스위치 및 핸들러 주변의 조명 안전 지역이 포함됩니다. 전반적으로 COHU/MULTITEST MT 9510은 반도체 제조 설비의 처리량 및 생산성 향상, 최고 속도, 정확도, 다양한 반도체 웨이퍼 테스트 프로세스를 처리할 수 있는 자동화된 핸들러입니다.