판매용 중고 ASYS SSM 03 #9183193
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ASYS SSM 03 핸들러는 반도체 업계에서 사용되는 고성능 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 이 제품은 SSM 03 메인 프레임, 로봇 베이스, 샘플 체인저 등 3 개의 모듈로 구성된 웨이퍼 레벨 패키징 어셈블리 시설의 생산을 위해 설계되었습니다. 이 처리기는 매우 효율적이고, 모든 생산 라인에 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. ASYS SSM 03 핸들러 (ASYS SSM 03 Handler) 의 기본 프레임을 사용하면 기계와 프로세스 사이의 웨이퍼를 효율적이고 안정적으로 전송할 수 있습니다. 이것 은 "로봇 '기지 와" 샘플 체인저' 사이 의 "웨이퍼 '를 움직 이는 데 사용 되는 전동식 환승" 스테이션' 을 통하여 행해진다. 주 프레임 에는 공기 압력 안정제 (옵션) 도 포함 되는데, 이것 은 "와퍼 '전사 를 위해 챔버' 내 의 진공 압력 을 안정화 시킨다. 로봇 베이스는 웨이퍼를 정확하게 처리하도록 설계된 자체 포함 장치입니다. 웨이퍼를 처리하고 최대 250mm의 카세트를 처리 할 수 있습니다. 이 로봇은 브러시리스 (brushless) DC 모터로 구동되며 선형 서보 드라이브 (linear servo drive) 및 제어 시스템을 사용하여 로봇의 움직임을 제어합니다. 이 로봇에는 자동 웨이퍼 정렬에 사용되는 비전 시스템도 포함되어 있습니다. 샘플 교환기는 핸들러 내에 웨이퍼를 저장하고 처리하는 데 사용됩니다. 중앙 샘플 슬롯, 4 개의 정렬 된 측면 슬롯, 2 개의 정렬 된 상단 슬롯으로 구성되어 있습니다. 예제 교환기는 웨이퍼 전송, 저장, 정렬, 배치 및 믹싱에 사용될 수 있습니다. 예제 교환기, 슬롯, 슬롯 홀더의 핵심은 사용자 정의 가능한 구성을 위한 최대의 유연성을 제공합니다. SSM 03 핸들러는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리 솔루션으로, 프로덕션 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 메인 프레임 (main frame) 은 안정적인 웨이퍼 전송을 제공하도록 설계되었으며, 로봇 베이스는 웨이퍼를 정확하게 처리합니다. 예제 교환기는 다양한 구성과 프로세스를 지원하며, 유연하고 유연한 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다.
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