판매용 중고 ATMI / ECOSYS Unichem-2900 #9154739

ATMI/ECOSYS Unichem-2900은 와퍼 표면 및 마스크의 자동 청소 및 오염 제어를 제공하는 최첨단 와퍼 및 마스크 스크러버입니다. ATMI Unichem-2900의 고급 자동 청소 및 오염 제어 기능을 사용하면 반도체, 평면 패널, 태양 전지, 광전자 및 의료 기기 생산 라인에 사용할 수 있습니다. ECOSYS Unichem-2900 (ECOSYS Unichem-2900) 은 고급 초음파 청소 기술을 통합하여 웨이퍼와 마스크를 효과적으로 균일하게 청소하고 구성 요소 기판 및 마스크 패턴을 보존합니다. 이 장치에는 한 쌍의 10 인치 직경 스크럽 브러쉬 (scrub brushe) 와 증발 물 스프레이 시스템 (evaporative water spray system) 이 포함되어 있으며 스크러빙 프로세스를 정확하게 제어합니다. 청소 과정 은 "스크럽 '" 브러쉬' 의 진동 운동 을 사용 함 으로써 더욱 강화 되는데, 이것 은 청소 과정 의 균일성 을 향상 시켜, 기판 에 손상 될 위험성 을 최소화 시킨다. 또한, Unichem-2900 (Unichem-2900) 은 마스크 측에 라인 누적 시스템을 통합하여 프로세스 라인에서 부품 또는 이물질이 실수로 제거되지 않도록 합니다. 또한, 웨이퍼 측에 안티-스틱 (anti-sticking) 청소 시스템을 갖추고 있으며, 처리 중에 포토 esist, 씬 필름 및 유기 잔기의 접착을 방지합니다. ATMI/ECOSYS Unichem-2900은 독특한 모듈 식 설계를 가지고 있으며, 증착실, CMP 장치 또는 검사 시스템과 같은 다른 호환 공정 장비와 통합 될 수 있습니다. 따라서 수동 개입이 필요 없이 wafer 및 stripe 처리를 전환할 수 있습니다. 이 장치는 또한 비교적 작은 설치 공간을 가지고 있으며, 간단한 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 를 사용하여 작동할 수 있으며, 다양한 운영 라인을 위한 컴팩트하고 사용자 친화적 인 솔루션입니다. 전반적으로, 다용도 및 고효율 ATMI Unichem-2900 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 비용 효율적, 정확하고 효율적인 청소 및 오염 제어 프로세스를 채택하려는 생산 라인에 이상적인 솔루션입니다. 또한 특별한 애플리케이션 요구 사항을 충족하도록 디바이스를 사용자 정의할 수 있습니다.