판매용 중고 UNISEM UN-2000A-WHG #9054648

UNISEM UN-2000A-WHG
제조사
UNISEM
모델
UN-2000A-WHG
ID: 9054648
Gas scrubber Electric hear-wet Corrosion resistance structure Power source AC 208 V, 50 Amp 2005 vintage.
UNISEM UN-2000A-WHG는 프로세스 장비 간 최대 2000 1 인치 ~ 4 인치 반도체 웨이퍼의 자동 전송을 위해 설계된 최첨단 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 각 런을 통해 여러 웨이퍼를 전송할 수 있는 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있습니다. 따라서 수동 처리에 비해 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리와 높은 처리량을 제공합니다. UN-2000A-WHG는 X-Y 테이블 로봇, 컴포넌트 어레이 로봇, 웨이퍼 엘리베이터, 프런트 엔드 로더 및 메인 컨트롤러로 구성됩니다. X-Y 테이블은 프런트엔드 로더와 컴포넌트 어레이 (component array) 로봇 사이에서 웨이퍼 카세트를 이동할 수 있습니다. 컴포넌트 배열 (component array) 로봇은 웨이퍼 캐리어를 심문하고, 웨이퍼 맵을 만들고, 데이터를 주 컨트롤러로 보내는 데 사용됩니다. 기본 컨트롤러는 웨이퍼 엘리베이터와 X-Y 테이블 로봇을 제어하는 데 사용됩니다. "웨이퍼 엘리베이터 '는 안전 하고 효율적 인 방법 으로" 웨이퍼' 반송파 와 "웨이퍼 '공정 장비 사이 의" 웨이퍼' 를 이동 시키는 데 사용 된다. UNISEM UN-2000A-WHG는 분당 60 웨이퍼의 주기 시간으로 빠르고 효율적입니다. 최소한의 유지 보수가 필요하며, 여러 웨이퍼 크기, 모양, 방향을 지원할 수 있습니다. 이 장치에는 웨이퍼 (Wafer) 식별을 위한 비전 머신 (Vision Machine) 이 장착되어 있으며, 프로세스 장비와 기본 컨트롤러 간의 통신을 위한 핸드셰이킹 인터페이스가 사용됩니다. 이 도구는 표준 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 를 포함한 다양한 소스에서 웨이퍼 캐리어를 수용 할 수 있습니다. 자산은 또한 웨이퍼 캐리어와 다양한 프로세스 장비 사이에 일대일 웨이퍼 (wafer) 위치를 설정할 수 있습니다. 또한 질소, 건조 공기 등 다양한 가스와 호환됩니다. 이 모델은 최소 수준의 인적 입력 (human input) 을 통해 철저하게 제어되는 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 온도 및 습도 제어를 통해 프로세스 정확도를 향상시키고 운영자 보호를 위한 안전 장비 (Safety Equipment for Operator Protection) 를 제공합니다. UN-2000A-WHG 시스템은 완전히 자동화되어 최소 운영자의 개입으로 24 시간 내내 작동 할 수 있습니다. 이 장치는 반도체, 전자 제품, 광학 부품 제조 공정에 사용하도록 설계되었으며, 실험실 및 청소실에 적합합니다. 고품질 컴포넌트로 구성되었으며, 엄격한 안전 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 기계는 안정적이고 비용 효율적이며, 정밀 프로세스 장비 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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