판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 849 CHP #9195624
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ID: 9195624
Chilling hot plate process station
Removed from TEL Clean Track ACT12-200 system, 8"
Includes:
TEL PCB P/N: 2981-600314-11, SUB UNIT CONN BOARD.
TEL/TOKYO ELECTRON 849 CHP는 TEL (TOKYO ELECTRON) 에서 제조 및 배포 한 고급 시설 장비입니다. 이 장비는 웨이퍼 (wafer) 패브에 사용되며, 비용을 절감하면서 생산성을 높이도록 설계되었습니다. TEL 849 CHP는 고정밀 웨이퍼 처리 장비, 스캐너 스테이지 및 자동 정렬 시스템으로 구성됩니다. 이 장비의 주요 특징은 다음과 같습니다. 1.4äm의 높은 위치 정확도입니다. 이를 통해 하나의 스테이션에서 다음 스테이션으로 매우 정확한 정렬 및 웨이퍼 (wafer) 를 전송할 수 있습니다. 스캔 단계 (scan stage) 는 정확하고 정확한 와퍼 스캐닝 및 수송을 위해 1.5äm의 정확도를 갖습니다. 웨이퍼 그립 장치는 최소한의 손상으로 웨이퍼를 고정하고 전송하는 데 사용됩니다. 자동 웨이퍼 정렬 (Automatic Wafer Alignment) 기능을 사용하면 전송하기 전에 웨이퍼를 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 기계는 생산에서 잘못 정렬 된 웨이퍼를 자동으로 편향하여 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 지능형 제어 툴은 웨이퍼를 전송할 때 높은 생산성과 정확성을 보장합니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 편리하고 자신감 있게 장비를 제어할 수 있습니다. 자산은 다른 시스템과 동기화되어, 정제되고 자동화된 생산 공정을 만들 수 있습니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON 849 CHP는 생산성 및 정확성 향상을 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 처리 및 전송 모델입니다. 이 장비는 대규모 웨이퍼 (wafer) 패브에 적합하며, 생산 프로세스의 속도와 정밀도를 높일 수 있는 탁월한 선택입니다. 고급 기능과 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 849 CHP (849 CHP) 는 안정적이고 고성능 생산에 적합한 탁월한 선택입니다.
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