판매용 중고 SAES PS7-MGT40-H-2 #293751069

SAES PS7-MGT40-H-2는 물리적 증기 증착 (PVD) 프로세스를 위해 설계된 고성능 증착 장비입니다. 이 시스템은 넓은 기판 영역에 균일 하고 고품질의 박막 (thin film) 을 입금 할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 공정 온도를 가진 디지털 폐쇄 루프 (closed-loop) 온도 제어가 제공됩니다. 회전 속도 200 rpm까지 구동되는 12 포켓 회전 시계와 가열 된 시야창이있는 측면 도어 냉각기 (side door cooling machine) 로 만들어졌다. 전원 제어 기능 (전원 제어) 과 속도 제어 기능 (speed control) 은 하나의 도구에 통합되어 있습니다. 자산의 아키텍처는 표준 벨 항아리 설계 (standard bell jar design) 를 기반으로 결정과 환경을 완벽하게 균일하게 가열합니다. 기판 홀더는 모델의 열 (heat) 에 배치되며, 결정 성장률과 균일 성을 최적화하기 위해 가변 각도 (variable angle) 드라이버로 설계되었습니다. 이 장비 의 한 가지 특징 은, 통일성 을 향상 시키기 위해 "챔버 '내 의 기판 을 기울이는 능력 이다. 온오프 (on/off) 및 냉각 프로세스를 제어하기 위해 시스템에 통합된 전자 부품이 있습니다. 이 장치는 온도 조절 스테인레스 스틸 하우징 내에 있습니다. 이것은 PVD 프로세스에 가장 적합한 조건을 보장하며, 균일 한 챔버 가열을 지원합니다. 그 에 더하여, 기계 에는 증착 과정 을 온전 히 제어 하고 추적 할 수 있게 해 주는 "모니터 '와" 컨트롤' 도구 가 장착 되어 있다. 이 모니터에는 조정 가능한 Step 스캔 에셋과 필요한 컨트롤러, 밸브 및 센서가 있습니다. 단위는 다른 공정 온도 및 압력으로 조정되어 정확한 속도 제어 (rate control) 를 가능하게 할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 장비의 일상적인 점검이 가능한 간편한 유지 보수 (maintenance) 및 운영 (operation) 절차가 있습니다. 여기에는 주 챔버 청소, 보기 및 유지 보수 용 도어 열기, 예: 컴포넌트 교체 등이 포함됩니다. 통합 안전 연동은 운영자에게 운영 중 가능한 가장 높은 안전을 제공합니다. 결론적으로 PS7-MGT40-H-2 증착 시스템은 물리적 증기 증착 프로세스에 효율적이고 정확하며 사용하기 쉬운 도구입니다. 또한 뛰어난 균일성과 고품질 성능을 제공하며, 운영 및 유지 보수 기간 동안 뛰어난 안전 측정 (Safety Measure) 을 제공합니다.