판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC 1000 #293655251

KARL SUSS/MICROTEC 1000은 최첨단 다기능 설비 장비입니다. 금속에서 중합체, 그리고 2 인치에서 8 인치까지 다양한 재료의 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 (wafer) 처리를 위해 설계되었습니다. 다양한 증착 및 에칭 프로세스를 완벽하게 제어 할 수 있습니다. MICROTEC 1000 (MICROTEC 1000) 은 매우 자동화된 컴퓨터 제어 시스템으로 웨이퍼에서 광범위한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 열 증발, 스퍼터링, e- 빔 증발 및 플라즈마 보조 증착을 포함한 다양한 증착 프로세스가 특징입니다. 또한 RIE, ICP 및 레이저 절제를 포함한 다양한 에칭 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 평면 화 및 기타 표면 마무리 프로세스에 사용할 수 있습니다. 이 기계는 모든 프로세스에 웨이퍼를 정확하게 배치하는 데 사용할 수있는 정밀 6 축 웨이퍼 암을 특징으로합니다. 또한 웨이퍼 로더 (wafer loader) 와 언로더 (unloader) 가 포함되어 있어 웨이퍼를 자동으로 처리할 수 있습니다. 기계의 다른 기능으로는 자동화 된 프로세스 제어 시스템, 증착 및 에칭 프로세스 제어 및 모니터링을위한 제어판 (Control Panel), 진공 시스템 (Vacuum System) 을 사용하는 프로세스 챔버 (Process Chamber) 및 내부 챔버 모니터링 시스템이 있습니다. 이 기계는 매우 다재다능하며 다양한 연구 및 생산 응용 프로그램 (Research and Production Application) 에 사용될 수 있습니다. 정밀성과 반복성은 실험실 규모의 실험 및 생산 프로세스에 이상적입니다. 또한 반도체 제조 및 그래 핀 (graphene) 과 같은 특수 재료 준비에도 사용될 수 있습니다. 전반적으로, KARL SUSS 1000은 다용도가 높고 많은 연구/생산 응용 분야에 사용될 수있는 고급 설비 장비입니다. 정밀성과 반복성은 실험실 규모의 실험과 생산 과정에서 모두 사용하기에 이상적입니다. 또한, 다양한 증착 (deposition) 및 식각 (etching) 과정을 정확하게 제어하는 기능은 모든 실험실 또는 생산 환경에 적합한 장비입니다.