판매용 중고 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 500A #9230836

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 500A는 인상적인 기능을 갖춘 다기능 설비 장비입니다. 이 제품은 반도체, 디스플레이, 나노 (nano) 장치 등 다양한 장치와 장치를 제작할 수 있는 강력한 토대를 제공합니다. 이 장비는 석판 처리 헤드, 기판 처리기, 증착 장비 및 가스 공급 시스템 (gas supply system) 과 같은 4 가지 핵심 구성 요소를 포함합니다. 리소그래피 프로세스 헤드 (lithography process head) 는 스테이지와 광학의 이동을 가능하게 하는 정밀 동작 장치 (precision motion unit) 로, 사용자가 정확한 피쳐 치수로 장치를 제작할 수 있도록 합니다. 이 기계는 각 선형 축의 레일 (rail) 과 스페이스 클램프 (space clamp) 로 구성되며 동작 노이즈가 매우 낮습니다. 이 구조는 프로세스 중 위치 오류 및 드리프트를 최소화하는 데 도움이됩니다. 기판 처리기 (substrate handler) 는 입자 오염을 줄이고 깨끗한 기판 환경과 온도 균일성을 제공하여 신뢰할 수있는 박막 증착을 가능하게하도록 설계되었습니다. 이 부품은 또한 여러 기판 캐리어를 지원하여 소형 기판에서 최대 200mm 크기의 대형 기판 (large substrate) 까지 다양한 장치 크기를 커버합니다. 증착 도구 (deposition tool) 는 정확한 치수 제어로 기판에 얇은 재료 레이어를 배치하는 데 사용됩니다. 합금 및 화합물 증착을 위해 원하는 온도 및 압력 설정을 지원합니다. 자산의 거대한 용량은 휘발성 가스 (volatile gase) 를 포함한 여러 가스 소스를 동시에 도입 할 수 있으며, 여러 기판의 물질을 독립적으로 증착 할 수 있습니다. 마지막으로, 가스 공급 모델 (gas supply model) 은 제조 과정에서 안전하고 안정적인 화학 가스 공급을 제공하는 증착 장비와의 완벽한 호환성을 제공합니다. 저장 선박, 가스 믹서, 바늘 밸브 블록 (needle valve block) 및 대량 흐름 컨트롤러 (mass flow controller) 가 있으며, 모두 증착 시스템에 안정적이고 안정적이며 고속 가스 공급을 제공합니다. 이를 요약하기 위해, FSI 500A는 정밀한 프로세스, 최적의 성능, 높은 수준의 안전성과 효율성을 위해 최적화된 구조와 구성요소를 갖추고 있습니다. 위에서 설명한 4 가지 핵심 구성 요소는 제조 프로세스 (Fabrication Process) 에 통합되어 제조 프로세스 (Fabrication Process) 의 필수 요소입니다.