판매용 중고 BOC EDWARDS TPU-STD #293592790

BOC EDWARDS TPU-STD는 고정밀 박막 증착을 위해 설계된 진공 장비입니다. 매우 작은 이 시스템은 TCO (총소유비용) 가 낮으며, 극도의 정밀도가 요구되는 프로세스에 대해 매우 안정적이고 비용 효율적입니다. 정확한 필름 두께가 중요한 반도체 처리 (semiconductor processing) 와 같은 산업 규모 증착 공정에 사용하기에 적합합니다. TPU-STD는 기본 압력 2 x 10 ^ -8 Torr의 모든 금속 밀봉 UHV (Ultra-High Vacuum) 챔버를 포함합니다. "스테인리스 '" 게이트' "밸브 '는 외부 환경 으로부터 약실 을 밀봉 하여, 원치 않는" 가스' 나 입자 가 들어오지 못하게 함 으로써 저기압 을 유지 하는 데 도움 이 된다. BOC EDWARDS TPU-STD에는 펌핑 속도가 분당 120 리터 (120 리터) 인 자동 터보 펌프 (turbo-pump) 가 포함되어 있습니다. TPU-STD는 박막 및/또는 코팅의 자동 증착을 지원합니다. 여러 개의 자동 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 가 장착되어 있어 챔버 내부에서 혼합 할 때 각 재료를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 차폐 마그네트론 스퍼터 목표를 가지고 있으며, 이는 스퍼터 증착 동안 정확한 박막 (thin film) 을 생성하는 데 사용될 수 있습니다. BOC EDWARDS TPU-STD의 개방형 챔버 (Open-End Chamber) 설계를 통해 사용자는 챔버를 열지 않고 샘플을 내부에 배치하고 리트랙트할 수 있습니다. 또한 TPU-STD (TPU-STD) 에는 디지털 디스플레이가 있어 퇴적 프로세스 전반에 걸쳐 모든 펌프 매개변수의 상태에 대한 개요를 제공합니다. 또한, 자동 백그라운드 압력 모니터 (background pressure monitor) 가 포함되어 있어 증착 과정에서 바람직하지 않은 압력의 변화를 감지합니다. 또한 장치 압력이 사용자 정의 임계값을 초과하면 자동 종료를 지원합니다. 전반적으로 BOC EDWARDS TPU-STD는 고정밀 박막 증착에 사용하기 위해 신뢰할 수 있고 저렴한 진공 기계입니다. 작은 크기, 낮은 소유 비용, 매우 정확한 증착 (deposition) 을 통해 정확도가 우수해야 하는 업계에서 사용할 수 있습니다.