판매용 중고 BOC EDWARDS i-250 #9382221

제조사
BOC EDWARDS
모델
i-250
ID: 9382221
GRC System Part number: N68072610.
BOC EDWARDS i-250은 주로 진공 내 증착 프로세스에 사용되는 최첨단 설비 장비입니다. 열 증발, 마그네트론 스퍼터링, 선형 및 회전 마그네트론 스퍼터링 (Linear and Rotary Magnetron Sputtering) 과 같은 다양한 응용 프로그램에 최적의 처리 성능을 제공하도록 설계된 고진공 장비입니다. 이 시스템은 사용하기 쉽고, 특별한 지원이나 설치가 필요하지 않습니다. I-250은 진공 펌프, 매니 폴드 및 필요한 모든 증착 액세서리를 단일 소형 플랫폼에 통합 한 올인원 (All-in-one) 장치입니다. 이 장치는 강력한 직접 구동 터보 분자 펌프를 특징으로하며, 1x10-5 Torr 미만의 기본 챔버 압력에 도달 할 수 있습니다. 이렇게 하면 진공 매개변수의 변경 처리에 더 빠른 응답 시간이 소요됩니다. BOC EDWARDS i-250은 또한 증착 프로세스를 위해 다양한 고급 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 최첨단 컨트롤러는 최대 16 개의 증착 소스를 동시에 제어할 수 있으며, 프로세스 모니터링을 위한 내장형 진단 머신 (diagnostic machine) 이 포함되어 있습니다. 이 지능형 제어 도구 (Intelligent Control Tool) 는 사용자 친화적이며 내부 및 외부 전극의 이동, 속도 제어 등 다양한 프로세스 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. 런레시피 저장, 증착 매개변수 모니터링/추세 분석, 프로세스 이력 (history) 의 산재 플롯 그래프 제공. 이 자산은 또한 직접 비상 차단 스위치, 자동 고압 차단 스위치, 오븐 및 베이스 챔버 연결을위한 암자 봉인 (hermetic seal), 듀얼 연동 안전 도어 (dual interlocked safety door) 등 정확하고 안전한 처리를 보장하기위한 몇 가지 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한, 수증기 및 백 스트리밍으로부터 보호를 제공하여 Leak 검출기의 필요성을 줄입니다. i-250의 고품질 구성은 까다로운 증착 응용을위한 완벽한 선택입니다. 견고한 디자인과 고품질의 재료를 통해 안정적이고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 사용자 정의가 가능하며 여러 소스, 동력 리프트 테이블, 극저온 응축 모델 (cryogenic-condensation model) 과 같은 추가 액세서리를 장착 할 수 있습니다. 전반적으로 BOC EDWARDS i-250은 다양한 증착 프로세스에 이상적인 선택으로, 사용자에게 간단한 운영, 강력한 성능, 향상된 안전 기능을 제공합니다. 이 장치는 작은 실험실에서 큰 제조 공장 (manufacturing plant) 에 이르기까지 모든 생산 공간에 적합할 정도로 소형입니다.
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