판매용 중고 BOC EDWARDS Helios-J #293667010

제조사
BOC EDWARDS
모델
Helios-J
ID: 293667010
빈티지: 2003
Gas abatement scrubber 2003 vintage.
BOC EDWARDS Helios-J는 다양한 목적으로 다양한 산업에서 사용되는 빠른 열 프로세서입니다. "실리콘 '" 웨이퍼' 에서 작은 부분 에 이르기 까지 여러 가지 기판 을 처리 하고 처리 하는 강력 한 도구 이다. 이 제품은 시중에서 가장 안정적이고 진보된 빠른 열 (rapid thermal) 프로세서 중 하나로 여겨집니다. Helios-J는 원통 모양의 챔버가있는 수평 지향 열 프로세서입니다. 챔버 내부에서는 가열 요소가 기판을 가열하는 데 사용됩니다. 이 열 프로세서의 온도 범위는 200 'C ~ 1100' C이며, 고온 및 저온 프로세스 모두에서 사용할 수 있습니다. 배기 장비 가 "챔버 '에 내장 되어 공정 중 의 온도 를 안정적 으로 유지 하는 데 도움 이 된다. 사용자는 내장 열전대 및 광학 피로미터 (pyrometer) 를 사용하여 챔버와 기판의 온도를 모니터링 할 수 있습니다. BOC EDWARDS Helios-J (BoC EDWARDS Helios-J) 에는 자동 및 수동 제어 시스템도 장착되어 있으며, 이를 통해 사용자는 프로세스의 속도와 지속 시간, 그리고 챔버의 전력 및 온도를 제어 할 수 있습니다. 사용자는 많은 프로세스 매개변수를 조정하여 프로세서의 성능을 미세 조정 (fine-tuning) 할 수 있습니다. 또한 열 프로세서에 대한 지원 소프트웨어를 사용하여 프로세스 매개변수 (예: 온도, 전원, 시간) 를 모니터링할 수 있습니다. 프로세서의 전력 및 온도를 제어하는 것 외에도, 헬리오스 -J (Helios-J) 에는 비활성 대기 제어 시스템도 장착되어 있습니다. 이 장치 는 가공실 에 사용 되는 질소, "아르곤 '또는 기타" 가스' 를 조절 하는 데 사용 된다. 불활성 대기 조절 장치 (Inert Atmosphere Control Machine) 는 또한 일부 프로세스에서 발생할 수있는 화재와 폭발을 방지하는 데 도움이되며, 보다 안전하고 일관된 프로세스를 보장합니다. BOC EDWARDS Helios-J는 반도체 제작, 의료 기기 제작, 조립 및 패키징과 같은 여러 산업 환경에서 사용하기에 적합합니다. 여러 응용 프로그램 (application) 을 위한 안정적이고 강력한 도구이며, 다양한 기판 (substrate) 을 처리하고 처리할 수 있는 안정적이고 정확한 방법을 제공합니다.
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