판매용 중고 BOC EDWARDS Helios-J #293667008

BOC EDWARDS Helios-J는 고정밀, 고해상도 웨이퍼 처리를 위해 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 이 장비는 2 "~ 8" 의 다양한 웨이퍼 크기와 호환되는 단일 웨이퍼 처리 도구입니다. 모듈식 설계를 통해 생산이 유연합니다. 이 시스템은 신속하고 효율적인 열 처리를 위해 빠른 냉각 및 난방 시간을 제공합니다. 고급 열 제어를 사용하면 원하는 세트 포인트의 +/- 5 ° C 온도를 얻을 수 있습니다. 웨이퍼 전체의 균일 한 온도는 균일 한 배기 장치 (uniform exhaust unit) 를 사용하여 보장되며, 이는 가공에 안정적이고 일관된 조건을 보장합니다. Helios-J 기계에는 쿼츠 크리스탈 마이크로 밸런스, 비활성 가스 전달 도구 및 자외선/오존 스테이션 (ultraviolet/ozone station) 과 같은 다양한 고급 액세서리가 장착 될 수 있습니다. 이러한 액세서리를 사용하면 다양한 특수 응용 프로그램에 대해 보다 맞춤화된 처리를 수행할 수 있습니다. 이 자산에는 고도의 플래튼 쉴드 (platen shield) 가 있어 웨이퍼를 오염으로부터 보호하는 데 도움이됩니다. BOC EDWARDS Helios-J는 직관적인 사용자 인터페이스 및 자동 기능을 통해 편리하게 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 대용량, 고정밀 생산에 이상적입니다. 또한, 이 도구는 외부 공기의 오염을 방지하는 자동 에어록 (airlock) 과 같은 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 모델은 쉽게 유지 보수할 수 있도록 설계되었으며, 빠르게 교체할 수 있는 액세스 가능한 컴포넌트 (component) 와 모듈을 갖추고 있습니다. 전반적으로 BOC EDWARD Helios-J는 다양한 기능을 갖춘 다용도, 고정밀 열 프로세서로, 복잡한 처리 응용 프로그램에 적합합니다. 모듈식 설계를 통해 확장성과 사용자 정의를 모두 허용합니다. 정확한 열 처리를 위해 빠른 냉각 및 난방 시간; 전문 응용 프로그램을위한 다양한 액세서리; 직관적 인 사용자 인터페이스; 오염 예방을위한 고급 안전 기능. 대용량 정밀 열 처리에 이상적인 선택입니다.