판매용 중고 ATMI / ECOSYS CDO 862 #165259
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ID: 165259
Abatement system
H2 reagent addition system for treatment of NF3/F2
Chamber clean applications utilizing remote plasma, high acid, low particulate byproducts
Multiple Inlets: (6) inlet anodized aluminum entry assembly injects H2 to react with F2 to form HF
(3) Chamber tank with corrosion resistant recirculation pump (0.33 gpm freshwater utilization)
All wetted metal components are Hastalloy to mitigate corrosion.
ATMI/ECOSYS CDO 862는 광범위한 테스트 및 측정 프로세스를 자동화하기 위해 설계된 고급 설비 장비입니다. CDO (Central Data Acquisition) 와 ATMI (Environmental Control System) 라는 두 개의 독립 장치로 구성된 모듈 식 장비입니다. CDO (Data Acquision and Test Protocol) 를 구성할 수 있는 강력한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. 또한 다양한 기능을 제공하여 효율적인 데이터 관리 및 로깅을 용이하게 합니다. 여러 통신 포트를 통해 CDO는 데이터 획득 시스템, 신호 분석기, 전원 공급 장치, 트랜스듀서 등 여러 외부 기기와 상호 작용할 수 있습니다. ECOSYS 모듈은 수행 중인 테스트나 실험과 관련된 환경 테스트 조건을 제어하도록 설계되었습니다. 고도의 온도 및 습도 조절은 테스트 중 환경을 정확하게 조절 할 수 있습니다. 여기에는 온도 및 습도 제어, 컨디셔닝 된 환기, 열 관리 및 환경 사전 조건이 포함됩니다. ATMI/ECOSYS는 또한 압력, 연기, 진동, 빛, 소음 및 기타 환경 입력과 같은 매개변수를 모니터링하고 분석하는 기능을 제공합니다. ATMI CDO 862 는 테스트 매개변수를 구성하고 모니터링하는 데 사용할 수 있는 포괄적인 소프트웨어 툴을 제공합니다. 필요한 모든 데이터는 시스템 메모리에 즉시 저장되어 나중에 읽어들이고 분석 (retrieval and analysis) 할 수 있습니다. 여기에는 측정 단위, 제어 설정, 테스트 프로토콜 및 결과와 같은 매개 변수가 포함됩니다. 이 툴은 또한 원격 제어 기능을 제공하며, 데이터 획득 시스템, 실험실 정보 관리 시스템, 원격 모니터링 시스템, 산업 자동화 시스템 등 다른 시스템과 통합될 수 있습니다. ECOSYS CDO 862 (ECOSYS CDO 862) 는 다양한 테스트/측정 프로세스에 이상적인 솔루션으로, 단일 패키지에서 높은 성능과 유연성을 제공합니다. 많은 테스트 응용프로그램에 대해 정확하고, 안정적으로 데이터를 수집하고, 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 고급 기능 (Advanced Features) 을 사용하면 실험실 내에서 작업 기능을 향상시키면서 실험을 최적화할 수 있습니다.
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