판매용 중고 ATMI 3CHEM #9395590

ATMI 3CHEM (ATMI 3CHEM) 은 박막 프로세스 및 재료의 개발 및 최적화를 위해 고급 플랫폼을 제공하기 위해 설계된 설비 장비입니다. 장비의 주요 구성 요소는 증착실 (deposition chamber), 공정 제어 장비 (process control equipment) 및 레이어 특성 시스템 (layer characterization system) 입니다. 증착실은 가열 기판 홀더와 여러 가스에 대한 조합 화학 분사 장치 (combinatory chemistry injection unit) 가있는 폐쇄 루프 에어 리프트 원자로이다. 이 약실은 고급 박막 증착 과정 및 재료에 이상적인 환경을 제공하여 압력, 온도, 가스 구성, 가스 유량 (gas flowrate) 과 같은 프로세스 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 공정 제어기 (process control machine) 는 증착 된 박막 (thin film) 의 최적의 프로세스 조건과 균일성을 보장하기 위해 설계되었으며, 증착 공정의 수동 및 자동 제어를 모두 제공합니다. 레이어 특성 지정 도구 (layer characterization tool) 는 증착 과정과 박막의 화학적, 물리적, 전기적 특성 특성을 허용합니다. 반사계, 두께, 굴절률, 응력 및 변형, 형태, 필름 접착 및 안정성, 전기 전도성, 계면 에너지 및 안정성, 작업 기능, 광학 상수 및 여러 웨이퍼에 걸쳐 균질성을 측정 할 수 있습니다. 마지막으로, 3CHEM 장비는 연구원들이 데이터의 시각적 표현을 빠르게 생성하고, 증착 프로세스 (deposition process) 와 박막 (thin film) 에 대한 실행 가능한 통찰력을 분석, 해석 및 생성 할 수있는 고급 분석 도구 세트를 제공합니다. ATMI 3CHEM 의 추가 기능으로는 데이터 분석 및 프로세스 최적화를 위한 자동화된 알고리즘, 확장성 및 사용 편의성을 위한 개방형 자산 아키텍처, 박막 프로세스/소재 라이브러리 등이 있습니다. 전반적으로, 3CHEM (3CHEM) 은 박막 공정 및 재료의 개발 및 최적화를 위해 실험실과 생산 시설을 연구하기 위해 다양한 도구와 기능을 제공하도록 설계된 종합적인 설비 장비입니다.