판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Avatar #9311356

AMAT/APPLIED MATERIALS 아바타 (AMAT/APPLIED MATERIALS Avatar) 는 모든 유형의 반도체 제조에 대한 처리량 및 수익성을 높이기 위해 설계된 자동화된 재료 처리 장비 제품군입니다. 닫힌 루프 피드백 및 자동 제어 시스템을 선호하는 AMAT 아바타 (AMAT Avatar) 는 Clearroom 환경 내에서 재료 처리량을 크게 증가시킵니다. 웨이퍼 결합, 에칭, 청소, 검사 및 도량형 과정을 다룹니다. APPLIED MATERIALS Avatar의 혁신적인 폐쇄 루프 디자인은 MEMS 및 기타 화학 센서를 사용하여 사이클 전반에 걸쳐 피드백을 제공합니다. 동적 피드백 시스템을 사용하면 속도, 압력, 온도, 습도 등의 매개변수를 조정하여 성능을 최적화할 수 있습니다. 아바타에는 재료 첨부를 최적화하는 자동 웨이퍼 결합이 장착되어 있습니다. 광자 결합 접착 결합 및 초당 1000 개의 결합이있는 정전기 결합을 사용하여 결합을 달성 할 수 있습니다. 웨이퍼 결합 (wafer bonding) 프로세스는 매우 빠른 처리량을 제공하며 고수율 생산 작업에 이상적입니다. 에칭 공정은 일반적으로 다양한 습식 에칭 (wet etching) 및 건식 에칭 방법을 사용하는 고급 화학 에칭 공구로 수행됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Avatar를 사용하면 자동 웨이퍼 정렬, 정밀 연마 슬러리 제어 및 일정한 온도 물 공급에 의해 에칭 프로세스가 가속화됩니다. 또한 대량 에칭 (bulk etching) 프로세스는 지속적인 측정 및 프로세스 제어를 통해 개선됩니다. AMAT 아바타 (AMAT Avatar) 의 청소 과정은 기계식 스크러빙 (scrubbing) 및 화학 제거와 같은 다양한 기술을 사용하여 수행됩니다. 자동 웨이퍼 랙 조작기 (automated wafer rack manipulator) 는 클리닝 프로세스를 작동하며 오염을 최소화하면서 효율적이고 일관성 있는 클리닝을 제공합니다. 청소 과정은 매우 정확하며 반복 가능한 청소 결과를 생성합니다. 검사 과정은 정교한 광학 검사 시스템을 사용하여 수행됩니다. 자동 웨이퍼 인식 및 초점 탐지는 잘못된 양성을 줄이고 정확한 결과를 보장합니다. 고속, 고해상도 센서는 결함을 감지하고 중요한 매개변수를 측정하여 프로세스 제어 및 제품 품질을 유지합니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS Avatar의 도량형 도구는 프로세스 변수를 정확하게 분석하고 제어합니다. 고속, 고밀도 측정을 통해 증착율, 에치율, 선폭 등의 매개변수를 정확하게 측정할 수 있습니다. 따라서 전체 프로세스를 지속적으로 관리하고 모니터링하여 성능을 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 아바타는 반도체 제작 기술에서 상당한 도약을 나타냅니다. 고급 자동 피드백 시스템 (automated feedback system) 과 고속 처리량 (high-speed throughput) 기능을 통해 클린 룸 환경이 다른 유사한 프로세스에 비해 우위를 점할 수 있습니다. 고급 에칭 (etching) 및 클리닝 (cleaning), 정확한 검사 및 정확한 도량형 기능의 조합은 프로세스 제어 및 최적화를위한 독특한 도구를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 아바타 (AMAT/APPLIED MATERIALS Avatar) 를 통해 반도체 제작자는 프로세스가 최적의 수준에서 작동하는지 확인해 줄 수 있습니다.