판매용 중고 USHIO UMA-802-HC55RM #9392072

USHIO UMA-802-HC55RM
ID: 9392072
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1994
UV Bake system, 6" 1994 vintage.
USHIO UMA-802-HC55RM 노출 장비는 고정밀 단일 빔 마스크 정렬 장치입니다. 사진 식자술 (photolithography) 과 나노 임프린트 (nanoimprint) 기술을 위해 설계되었으며 감광 물질의 매우 정밀한 배치 및 영상을 제공합니다. 이 시스템에는 소형, 공랭식 UV 광원, 80mm 진공판 및 자동 시력 정렬 장치가 포함됩니다. UV 광원은 금속 할라이드 아크 램프를 특징으로하며, 전력 등급은 250 와트, 노출 파장은 350 ~ 450 나노 미터입니다. 석영 반사기 는 빛 의 정확 한 초점 을 유지 하고, 1500 "와트 '의 전원 공급 장치 는 안정적 이고 일관성 있는 성능 을 보장 한다. 광원은 신뢰성이 높으며, 장기간 지속적으로 사용할 수 있습니다. UMA-802-HC55RM의 진공판은 높은 구조이며 16 마이크로 미터의 원형 동작 범위를 자랑하여 감광 물질의 배치 정확도가 우수합니다. "플레이트 '는 표면 의 흙 에 대한 정확성 을 유지 하도록 설계 되었으며," 플레이트' 의 움직임 은 또한 차동 구동 "나사 '의 도움 을 받는다. 진공 판은 또한보다 정밀한 정렬을 위해 X 및 Y 축 내에서 이동을 허용합니다. USHIO UMA-802-HC55RM (Automatic Vision Alignment Machine) 은 매우 정확하며 미리 설정된 오버레이 템플릿에 감광 재료를 찾고 정렬하도록 프로그래밍할 수 있습니다. 이것은 매번 정확하고 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. 정렬 도구에는 자동 초점 (auto-focus) 기능도 포함되어 있으므로 nanoimprint lithography와 같은 응용 프로그램에서 해당 기능을 활용할 수 있습니다. 마지막으로 UMA-802-HC55RM 노출 자산에는 고급 옵틱 패키지가 있습니다. 광학 패키지에는 무채색 렌즈, 빔 스플리터 및 조리개가 포함됩니다. 광학은 수차 문제를 효과적으로 제거하여 파장의 균일성과 효율성을 허용합니다. 광학은 또한 자외선 범위 (UV range) 의 확장 모델을 특징으로하여 고속 이미지 형성을 가능하게한다. 전반적으로 USHIO UMA-802-HC55RM 노출 장비는 최첨단 생산 장치로, 사진 촬영 및 나노 임프린트 기술에 적합합니다. 고정밀 싱글 빔 마스크 정렬기, 강력한 UV 광원, 매우 정확한 진공판, 고급 자동 시야 정렬 시스템, 고급 광학 패키지 등을 통해 안정적이고 일관된 성능을 제공합니다. UMA-802-HC55RM은 안정적이고 정확한 노출 장치가 필요한 실험실에 적합한 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다