판매용 중고 USHIO UMA-2003 #9397449
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ID: 9397449
웨이퍼 크기: 12"
UV Cure system, 12"
Process: 6500-35 Gate resist cure
Basic system: UMA-2003-H120F UVC
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Wafer:
Semi wafer M28: 775, ±25 µm
Wafer type: Notched
TDK TAS-300 Carrier
Interface: (2) FOUP
With semi compliant MENV and FIMS assemblies
Carrier ID: (2) Bar codes
Display with EMO: Front and back
(4) Front side lamp power supplies
Interlocks: Power supply unit and mini-environment with panel
Lamp house
Cable length: 15 meter
Signal tower
HP CL Plate with vacuum
Detection sensor: Port 1 and 2
Lamp power supply
Chiller
Robot controller
Exhaust: 6m, 3/min
Lamp cooling: 20m, 3/min
(3) Lamp exhausts: 7m, 3/min
Water supply:
Chiller:
Temperature: 25°C
Flow: 60 L/Min
Pressure: 1 Mpa
Main unit:
Temperature: 10°C - 25°C
Flow: 60 L/Min
Pressure: 0.5 - 0.6 Mpa
Gas:
Gas name / Flow rate / Pressure
CDA / 5.4 - 280 / 0.5 - 0.6 Mpa
N2 / 10 - 50 / 0.5 - 0.6 Mpa
Vacuum / 80, 40L/min / -
Chiller power supply: 200 V, ±10 V, 50/60 Hz, 33 A, 3-Phase
Power supply: 200 V, ±10 V, 50/60 Hz, 175 A, 3-Phase.
USHIO UMA-2003 (USHIO UMA-2003) 은 광범위한 제팅 및 배치 재료를 위해 설계된 자동 노출 장비입니다. 이 "시스템 '은 전자 산업 에 널리 사용 되고 있으며 유리, 금속," 플라스틱' 과 같은 표면 에 재질 을 빠르고 정확 하게 제팅 하고 배치 할 수 있다. USHIO UMA 2003은 신뢰성이 높은 장치이며 고품질 출력을 제공합니다. 노출 기계의 최대 UV 노출 면적은 800 x 800 mm이며, 최대 노출 면적 200 x 200 mm의 다양한 전원 헤드가 특징입니다. 각 재료의 노출 요구를 충족시키기 위해 노출 도구 (Exposure Tool) 를 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 노출 자산은 쿼츠 노출 램프를 사용하여 균등하고 일관된 노출을 보장합니다. 프로그래밍 가능한 컨트롤러는 노출 시간, 에너지 수준, 강도 등의 노출 매개변수를 정확하게 제어합니다. 이것 은 "에너지 '가 노출 과정 전체 에 걸쳐 정확 한 양 의" 에너지' 에 노출 되도록 한다. 또한 제어 장치 (Control Unit) 는 최적의 결과를 보장하기 위해 정확한 시간 단축 기능을 제공합니다. UMA-2003 은 안전한 운영 환경을 보장하는 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 안전 연결 (Safety Interlock), 안전 스위치 (Safety Switch) 및 잠재적 노출 위험을 방지하기위한 경고 모델이 포함됩니다. 이 장비에는 모든 툴과 액세서리 (accessory) 가 함께 제공되어 운영 및 유지 보수가 효율적입니다. 액세서리에는 튜브 처리 설비, 노출 강도 모니터, 램프 및 노출 제어 시스템이 포함됩니다. 여기에는 노출 시간이 도달했을 때 장치가 꺼져 있는지 확인하기 위한 통합된 24 시간 클럭 (clock) 및 안전 스위치 (safety switch) 가 포함됩니다. 이 기계는 또한 교육 및 기술 지원 (Training and Technical Support) 을 통해 운영자와 기술자가 툴과 그 기능에 익숙하도록 보장합니다. 이를 통해 자산은 안전하고 효율적으로 운영되며, 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. UMA 2003 은 다양한 노출 애플리케이션 요구를 충족하는 안전하고, 안정적이며, 고정밀도 높은 솔루션을 제공합니다. 효율적이고 정확한 운영으로 USHIO UMA-2003 (USHIO UMA-2003) 은 전자 산업과 제트 (jetting) 및 배치 재료에 노출 된 개인에게 신뢰할 수 있고 인기있는 솔루션입니다.
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