판매용 중고 USHIO PE-250DMV2 #293629206

USHIO PE-250DMV2는 RTP (Rapid Thermal Processing) 및 어닐링 응용 프로그램에 이상적인 고급 노출 장비입니다. 이 "시스템 '은 기판 과" 웨이퍼' 의 온도 조절 에 있어서 신뢰성 이 높고 정확 하도록 설계 되었다. PE-250DMV2는 고정밀 레이저 열 센서, 고열 정확도 0.1 ° C, 웨이퍼 회전 당 0.3 초의 최적화 스캐닝 속도를 특징으로합니다. 이 장치는 더 빠른 난방 기능으로 제작되어 생산성을 향상시키는 동시에, 일관된 제품 품질을 보장합니다. USHIO PE-250DMV2 (USHIO PE-250DMV2) 에는 광범위한 전원 공급 장치가 장착되어 있어 직경이 최대 4 인치인 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한 유연한 온도 조절을 위해 설계되었으며, 최적화된 열 흐름 (thermal flow) 및 기판 온도 조절이 가능합니다. 또 다른 주목할만한 특징은 개선 된 샘플 챔버 (sample chamber) 설계로 온도 분포의 균일성을 향상시킵니다. 이것은 오염이 없고, 적용이 통일되며, 성능이 반복 가능한 표면을 만드는 데 필수적입니다. 또한, 챔버 디자인은 다른 작동 조건을 겪을 때 기계 안정성과 정확성을 향상시키는 것으로 알려져 있습니다. 또한, 이 도구는 가열 온보드 (on-board) 구성과 냉각 속도가 빨라짐에 따라 처리 시간이 짧습니다. 또한 전체 자산에 대한 서비스 수명이 증가합니다. PE-250DMV2 의 제어 기능은 매우 직관적이고, 사용자 정의가 용이하여, 빠르고 쉽게 작업할 수 있습니다. 온도, 전원 수준, 스캔 속도 (scan rate) 를 간편하게 구성하고 조정할 수 있는 다양한 제어 매개변수가 있습니다. 또한, 모델은 한 번에 여러 웨이퍼를 제어하고, 여러 작업 영역 (work-zone) 설정을 유지할 수 있습니다. USHIO PE-250DMV2는 프로세스 성능 최적화 및 수율 향상을 위해 설계되었습니다. 내장형 안전 (Safety) 기능, 안전 표준 준수, 사용자 친화적 설계를 통해 RTP 및 어닐링 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.