판매용 중고 ULTRA OPTICS Ultra RX #293816243

ULTRA OPTICS Ultra RX는 고급 석판화 응용 프로그램을 위해 설계된 노출 장비입니다. 또한 초고해상도 (Ultra-High Resolution) 및 반복성 (Repeatability) 뿐만 아니라 고급 기술 노드를 위한 전용량 프로세싱 유연성을 제공합니다. 이 시스템은 여러 노출 헤드 (exposure head) 로 구성된 선형 배열 (linear array) 로 구성되어 배열 전체 너비에 걸쳐 노출 용량 및 용량 균일성을 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 또한 노출 헤드에 걸쳐 광도 분포를 정확하게 측정하기위한 고해상도 검출기 (High-Resolution Detector) 가 있습니다. 노출 헤드는 고해상도 모터 (motor) 에 의해 구동되며, 이를 통해 최적의 패턴화 정확도를 위해 서브 미크론 노출 제어가 가능합니다. 울트라 RX (Ultra RX) 장치에는 노출 매개변수를 자동화하고 높은 수준의 기계 제어 기능을 제공하는 컨트롤러 장치가 있습니다. 컨트롤러는 정렬 (Alignment) 및 기타 프로세스 제어 루틴 (Process Control Routine) 및 자산 안정성을 보장하는 통합 교정 도구를 수행하기 위해 프로그래밍 될 수 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 다양한 진단 및 분석 도구를 제공합니다. 이 모델은 가장 복잡한 패턴을 위해 넓은 동적 범위 이미징 (dynamic range imaging) 을 제공하는 고급 이미징 장비를 사용합니다. 이미징 시스템은 리소그래피 (lithography) 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었으며, 고대비 (high-contrast) 광학 성능을 제공하는 다양한 광학 구성 요소에서 지원됩니다. 노출 장치 (Exposure Unit) 에는 노출 과정 동안 정확성과 반복성을 보장하기 위해 통합 도량형 기계가 있습니다. 이 도구는 노출 빔의 강도 및 어두운 수준을 측정하고, 오류 감지 에셋 (error-detection asset) 은 빔 위치의 잘못된 노출 용량 또는 잘못된 정렬로 인한 오류를 방지하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 울트라 옵틱스 울트라 RX (Ultra OPTICS Ultra RX) 는 고급 리소그래피 어플리케이션을 위한 강력하고 안정적인 모델을 제공하여 뛰어난 해상도와 균일성을 갖춘 고품질 패턴을 만들 수 있습니다.