판매용 중고 TOK TVC-8011 #293606949

제조사
TOK
모델
TVC-8011
ID: 293606949
웨이퍼 크기: 3"
UV Curing system, 3" Power supply: 3 Phase.
TOK TVC-8011은 다양한 종류의 반도체 장치 생산을위한 고급 노출 장비입니다. 대용량 고수율 집적 회로 (IC) 장치를 제조하는 데 이상적입니다. TVC-8011 노출 시스템은 FoV (Field-of-View) 8 인치 레티클 패턴을 사용하여 정확도가 높은 대형 칩과 소형 칩을 모두 노출 할 수 있습니다. 노출 장치는 조명 소스 (예: 오팔 램프) 를 카메라에 연결하는 카메라 머신을 기반으로합니다. 이것은 효과적으로 노출 영역을 증가시켜 더 높은 해상도 패턴을 허용합니다. 노출 도구 (Exposure Tool) 의 재료는 현대 IC 생산에 필요한 고해상도를 지원하도록 설계되었습니다. 또한, 노출 자산은 일련의 자동 제어 (Automatic Control) 를 제공하여 매번 정확한 등록 및 반복 가능한 성능을 보장합니다. 피폭 모델은 필름 손상이 발생했을 때 인식 할 수 있으며, 반도체 웨이퍼가 노출되지 않도록 보호합니다. 장비는 또한 정확한 초점 제어 및 지속적인 노출 시간을 통해 노출 정확도를 유지합니다. 또한, 시스템에는 매핑 테이블 (mapping table) 이 장착되어 있어 모양과 패턴을 인식하고 매핑할 수 있습니다. 더욱이, 이 장치 는 "디퓨저 '를 사용 하여 빛 을" 웨이퍼' 에 퍼뜨린다. 이렇게 하면 광원 의 강도 가 확산 되고 부드럽게 되어, 더 부드러운 "이미지 '가 만들어진다. 또한 노출 된 패턴의 흐림 또는 얼룩 (smudging) 을 방지하기 위해 활성 진동 제어 (active vibration control) 와 온도 변화를 제어하기위한 온도 보상 메커니즘이 장착되어 있습니다. 마지막으로, TOK TVC-8011 노출 시스템은 고급 소프트웨어를 사용하여 효율성을 높이고, 노출 시간을 줄이고, 처리량을 향상시킵니다. 다양한 이미지 처리 기능과 동작 제어, 기록 및 재생 메커니즘이 장착되어 있습니다. TVC-8011은 IC 장치를 생산하기 위해 특별히 설계된 효율적이고 고정밀 도구입니다. 효율적인 운영, 고급 소프트웨어, 활성 진동 제어 (Active Vibration Control) 및 온도 보상은 이 자산으로 제조된 각 칩의 안전성과 품질을 보장합니다.
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