판매용 중고 THERMO FISHER SCIENTIFIC 49C #9040100
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THERMO FISHER SCIENTIFIC 49C는 테이블 탑 리소그래피 응용 프로그램의 노출 출력을 포괄적이고 정확하게 제어하도록 설계된 강력한 UV 노출 장비입니다. 이 시스템은 모듈식 (modular) 자동 제어 제품군을 갖추고 있으며, 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 기존 운영 환경에 원활하게 통합할 수 있습니다. 고급 조명 장치를 갖춘 49C는 양성자 교환 막 (PEM) 연구, 나노 구조 및 고급 패턴 기술 등의 응용 분야에 대해 최대 15 W/m2의 광범위한 조도 범위를 갖습니다. 최고 10,000 시간의 인상적인 수명을 자랑하는 고성능 UV-C 램프 (UV-C Lamp) 가 특징이며, 장기 작업 및 고급 어플리케이션의 프로토 타입에 적합합니다. 이 기계에는 YAG 기반 협업 오브젝티브 렌즈 (수직으로 초점을 맞출 수있는 조정 가능한 Z축) 에 장착되어 있습니다. 이를 통해 UV 소스에 비해 샘플의 정밀도를 높일 수 있으므로 비동종 (non-homogeneous) 노출을 개선할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 수동 스테이지의 도움으로 샘플의 전동 배치 (motorized placement) 를 특징으로합니다. 수동 단계 외에도 THERMO FISHER SCIENTIFIC 49C에는 자동 노출 제어 자산도 포함되어 있습니다. 이 컴포넌트를 사용하면 샘플 렌즈 어셈블리 (sample and the collimating lens assembly) 를 자동으로 배치하고 재배치할 수 있습니다. 이는 노출 분야를 관심 분야로 제한하고, 시간과 노동 모두를 절약하는 데 도움이됩니다. 또한 새로운 Automated Control Suite 는 노출 시간, 파장, 강도, 반복 수에 대한 정확한 제어 기능을 제공하여 처리량을 극대화할 수 있습니다. 49C에는 안전 도어 인터 록 (Safety Door Interlock), 방사선 차폐 유리 창, 비상 정지 단추 등 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 자동화된 안정화 모델 (automated stabilization model) 을 통해, 이 장비는 지속적으로 일관된 조도를 유지하여 노출 프로세스 전반에 걸쳐 균일 한 이벤트를 보장합니다. 요약하면, THERMO FISHER SCIENTIFIC 49C는 가장 까다로운 생산 요구사항을 충족시키기 위해 다양한 기능을 제공하는 이상적인 노출 시스템입니다. 이 장치에는 자동 제어 스위트, 방사선 차폐 유리 창 (radiation-shielded glass window) 및 전동 샘플 배치 (motorized sample placement) 가 제공되어 노출 출력을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 몇 가지 안전 기능, 확장 된 램프 수명, 정확한 비 균질 노출이 가능한 고출력 UV-C 램프가 있습니다.
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