판매용 중고 SVG Micrascan III #9212227

SVG Micrascan III는 포토 마스크 산업을위한 최첨단 디지털 이미징 및 노출 장비입니다. 이 노출 시스템은 현재 사용 가능한 가장 고급 리소그래피 프로세스 중 하나를 사용합니다. 이 장치를 사용하면 매우 작은 기능을 설계하고 생산하여 해상도를 향상시키고, 생산된 마스크의 전반적인 정확도를 높일 수 있습니다 (영문). 마이크로 스칸 III (Micrascan III) 는 157nm 파장 기술을 사용하여 고급 포토 리토 그래피 응용 프로그램의 패턴 마스크에 더 높은 해상도와 노출 정밀도로 기능을 노출시킵니다. 이 기계는 단일 노출에서 최소 반음 (32nm) 및 최소 선폭 (10nm 미만) 의 기능을 생성 할 수 있습니다. SVG Micrascan III에는 뛰어난 이미징 및 노출 품질을 보장하는 많은 기능이 있습니다. 이 도구에는 빠르고 효율적인 투사 렌즈 에셋 (Projection Lens Asset) 과 업그레이드 된 정렬 및 재조정 (Run-to-Run) 성능이 향상되었습니다. 이 장비에는 또한 고출력 펄스 레이저 (pulse laser) 가 장착되어 있어 가장 작은 피쳐 크기와 임계 (critical) 치수조차도 정확하게 노출되도록 최대 노출 출력을 보장합니다. Micrascan III 시스템은 지능형 프로세스 관리 및 제어 소프트웨어도 통합합니다. 이 소프트웨어는 사용자가 다양한 매개변수에 대해 가시성 (visibility) 및 제어 (control) 기능을 제공하여 각 작업 실행에 대한 정확하고 일관된 결과를 보장합니다. 이 장치에는 최적화된 비주얼 머신 (Visual Machine) 이 포함되어 있으며, 미세한 모니터링에서 자동 패턴 배치 (Fine-Adjustment of Pattern Placement) 에 이르기까지 다양한 보기 옵션을 제공합니다. SVG Micrascan III는 클린 룸 환경에서 사용하기에 적합하며, 매우 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 도구는 대규모 산업 노출 응용 프로그램을 위해 설계되었으며, 그 결과 일관되고 높은 수익률을 제공합니다. Micrascan III는 고품질 포토 마스크 제작 및 패턴 요구 사항에 이상적인 선택입니다.