판매용 중고 RUDOLPH A2300 #9298650

RUDOLPH A2300은 칩 포장 응용 프로그램을 위해 개발 된 고급 노출 장비입니다. 특허를 획득한 파일 기반 프로그래밍 시스템으로, 고유한 "팩토리 스타일 (factory style)" 레이아웃을 제공하며 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. 완전 통합된 장치는 PC (Integrated Personal Computer), DSP (Digital Signal Processor) 및 특허를 받은 광학 요소 설계를 갖춘 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 또한, 이 시스템은 내장 소프트웨어 제품군, 광범위한 디지털 I/O 포트 세트, 다양한 통신 옵션을 갖추고 있습니다. 이 도구는 성능 및 정확성을 위해 실시간 DNC (Direct Numerical Control) 드라이버를 사용합니다. A2300은 12 미크론의 레이어 대 레이어 거리 해상도로 최대 8 "x 8" (203mm x 203mm) 의 기질을 노출 할 수 있습니다. 기판 보류는 자동 클램핑 자산을 통해 관리됩니다. 패치 적용, 초점 자동 적용, 노출, 장치 전송과 같은 노출 매개변수는 모두 중앙 GUI (Graphical User Interface) 에서 편리하게 관리할 수 있습니다. 향상된 정확성과 반복성을 위해 RUDOLPH A2300은 수평판/조명기 모델을 사용합니다. 수동 정렬 (manual alignment) 의 필요성이 없어지고 장비가 자동으로 수직 높이, 회전, 평면 및 포커스에 맞게 조정됩니다. 즉, 각 레이어가 정확하고 일관되게 노출되어 디바이스 전송 (device transfer) 문제가 발생하지 않도록 합니다. 또한, A2300 은 강성 재료 처리를 제공하여 노출/개발 과정에서 기판이 움직이지 않도록 합니다. 내장형 웹 주소 지정 가능 디지털 카메라는 각 레이어의 고해상도 (high-resolution) 이미지를 캡처하여 실시간 피드백을 제공하여 각 레이어가 정확하게 노출되도록 합니다. 또한, 이 시스템은 조립 된 레티클, 접착제가있는 레티클, 언더레이어 마스크가있는 접착제 등 다양한 광학 요소로 쉽게 구성 할 수 있습니다. 궁극적으로 RUDOLPH A2300은 고급 칩 포장 응용 프로그램을위한 강력한 노출 장치입니다. 이 기계는 광학 요소와 실시간 DNC 컨트롤러의 고유한 설계를 활용하여 모든 노출 (exposure) 에 일관된 고해상도 (high-resolution) 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구에는 직관적인 GUI, 디지털 카메라 인터페이스 및 유연한 재료 처리가 있습니다. 따라서 A2300은 칩 패키징 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.