판매용 중고 RUDOLPH A2300 #9289379
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RUDOLPH A2300은 디지털 리소그래피 프로세스 제어 및 인쇄 솔루션을 용이하게하도록 설계된 고급 노출 장비입니다. 높은 정밀도, 산업 등급 액츄에이터 (actuator) 로 구동되며, 디지털 리소그래피 인쇄 과정에서 사진작가의 안정적이고 정확한 노출을 제공하도록 설계되었습니다. A2300 은 강력한 소프트웨어와 심층 도량형 (in-depred metrology) 및 이미징 (imaging) 기능의 도움으로 상세한 프로세스 최적화를 가능하게 하여 디지털 리소그래피 (lithography) 인쇄에서 최고의 정확도를 얻을 수 있습니다. RUDOLPH A2300은 2000 mm x 2000 mm 필드를 특징으로하며, 이는 deep-UV에서 ultra-violet에 이르기까지 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. AFA (Adjustable Field Angle) 기술을 사용하여 전체 필드에 대해 일정한 강도와 해상도를 제공합니다. 이 시스템은 비선형 래깅 (non-linear lagging) 또는 왜곡 (distortion) 이없는 리소그래피 패턴을 보장하기 위해 모든 크기 기판에 대해 1äm 해상도의 짝수 노출이 보장됩니다. 또한 엔드 필드 필터, 기판판 홀더, 멀티 이미지 프로젝터 (multi-image projector) 와 같은 주변 장치 어레이가 장착되어 있습니다. A2300 의 전체 장치는 매우 자동화되어 있어 많은 시간 (time) 과 인건비 (labor) 를 절감할 수 있습니다. 이 시스템은 3D 숫자 제어 (NC) 머신으로 구동되며, 사용자가 확대/축소 거리, 진동 속도, 노출 시간, 레이저 광도 및 통합과 같은 노출 매개 변수를 조정할 수 있도록 프로그래밍 가능한 컨트롤을 제공합니다. 정교한 소프트웨어 시스템을 사용하면 리소그래피 (lithography) 결과를 안정적으로 작동하고 재현할 수 있습니다. RUDOLPH A2300은 직관적 인 사용자 인터페이스와 간편한 탐색 메뉴 구조를 갖추고 있습니다. 강력한 트랙 및 추적 데이터 관리 (Trace Data Management) 기능이 함께 제공되므로 사용자가 필요에 따라 인쇄 품질을 추적하고 노출 설정을 조정할 수 있습니다. 효율적인 WYSIWYG (What You See is What You Get) 인터페이스를 통해 사용자가 인쇄하기 전에 작업을 미리 볼 수 있습니다. 마지막으로, 공구는 온도 조절이며, 챔버 온도 작동 범위는 8 ° C - 15 ° C입니다. 특수 활성 환기 자산 (Active Ventilation Asset) 은 모델의 열을 효율적으로 분산시키고, 기계 온도를 일정하게 유지하며, 더 적은 수의 오류로 인해 해당 작업을 실행할 수 있습니다. 잘 문서화 된 안전 프로토콜을 통해, A2300 은 노출 장비 시장의 강력한 경쟁자입니다.
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