판매용 중고 RUDOLPH A2300 #9269769

RUDOLPH A2300
제조사
RUDOLPH
모델
A2300
ID: 9269769
빈티지: 2012
Exposure system 2012 vintage.
RUDOLPH A2300은 반도체 구성 요소를 개발하고 형성하는 데 사용되는 고급 노출 장비입니다. 단파장 (short-wavength) 기술을 기반으로 한 마스크 없는 노출 시스템이며, 생산속도와 정확성을 제공한다. 단파 (short-wavength) 기술, 고속 (High-Speed) 기능 및 높은 처리 성능의 이점을 결합하면 A2300을 대용량 운영 환경에 이상적인 제품으로 만들 수 있습니다. RUDOLPH A2300 (RUDOLPH A2300) 은 기존의 방사선 소스 대신 짧은 파장의 직접 디지털 광원을 사용하여 더 정확한 석판화 결과로 노출 시간이 짧고 처리량이 높습니다. 또한 단파 이미징 장치 (short-wavelength imaging unit) 를 사용하여 더 높은 해상도와 더 자세한 시각적 이미징 효과를 제공합니다. 통합 고속 스캐너 (High-Speed Scanner) 를 사용하면 안정적인 프로세스 기술과 높은 처리량을 보장할 수 있으므로 운영 비용이 절감됩니다. 또한 4 차원 노출 모드 구조와 4 차원 노출 제어를 사용하여 높은 정확도를 제공합니다. 노출 필드 사이의 빠르고 정확한 정렬을 통해 다중 패턴 리소그래피 (multi-patterning lithography) 에 맞게 기계를 조정할 수도 있습니다. 이 도구에는 목표 조건을 효과적으로 모니터링 및 수정하기 위해 소프트웨어 제어 기능 (Software Control Function) 과 시스템이 장착되어 있습니다. 따라서 데이터를 기존 자산에 원활하게 통합할 수 있습니다. 또한, 노출 플랫폼의 작동 및 제어를 위한 사용자에게 친숙한 플랫폼을 제공합니다. A2300은 고급 패턴 인식 (Pattern Recognition) 및 레이어 검증 (Layer verification) 기능을 제공하여 오정렬 및 결함의 가능성을 최소화합니다. 또한 결함 인식, 레티클 정렬 수정 (reticle alignment correction), 오버레이 응용 프로그램 (overlay application) 과 같은 여러 기능을 제공하여 균일 한 생산 흐름을 보장합니다. 이 모델은 낮은 전력 소비로 설계되어 프로세스 효율성을 향상시킵니다. 또한 여러 고객의 요구를 충족하기 위해 여러 개의 추가 기능 (Add-on) 과 모듈 (Module) 이 장착되어 있습니다. 또한 대부분의 기존 기술과 호환되므로 사용자가 편리하게 사용할 수 있습니다. RUDOLPH A2300은 환경 친화적이며 매우 낮은 화학 부산물과 폐기물을 생산합니다. 이는 환경에 미치는 영향을 줄이려는 산업에 이상적입니다. 생산 공정의 정확성과 처리량을 높이기 위해 각기 다른 업계의 다양한 요구 사항을 충족시키도록 설계되었으며, 생산량 (IT), 생산량 (GDP), 생산량 (GDP), 생산량 (GDP) 등도 전반적으로, A2300 은 사용자 친화적이고 친환경적인 고급 노출 장비로, 환경 영향을 최소화하면서 보다 높은 정확도, 높은 처리량, 낮은 생산 비용 등을 제공합니다.
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